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电容耦合微波等离子体概述

2018/06/19171 作者：佚名
导读：电容耦合微波等离子体(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波为辐射频率， ( torch ) E-大于〕1f1MI-}z(一般为24}n:'v1H} )微 功率在数百瓦到数千瓦的一种电容藕合等离 子体光源。由磁控管产生微波，通过同轴波导管传输到一根 同轴电极上，在电极尖端生成等离子体(焰炬)。它可在大气 压下放电点燃二试样雾化后随载气进人等离子

电容耦合微波等离子体(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波为辐射频率， ( torch ) E-大于〕1f1MI-}z(一般为24}n:'v1H} )微 功率在数百瓦到数千瓦的一种电容藕合等离 子体光源。由磁控管产生微波，通过同轴波导管传输到一根 同轴电极上，在电极尖端生成等离子体(焰炬)。它可在大气 压下放电点燃二试样雾化后随载气进人等离子体激发发光。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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