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集成电路线宽指由特定工艺决定的所能光刻的最小尺寸，一般等于沟道的最小宽度。
集成电路的线宽通常可理解为所加工的电路图形中最小线条宽度，但在MOS电路中，人们也常栅极长度来定义线宽。集成度与线宽有对应关系，即集成度越高，线宽越小，所以，线宽也常用来表示集成电路制度技术水平的高低。世界上生产集成电路的主流产品线宽为0.25微米。满足0.25微米线宽要求的硅抛光片，可用于批量生产64M 集成电路，也可用于试制256M集成电路样片。
