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MEMS陀螺仪的重要参数包括:分辨率(Resolution)、零角速度输出(零位输出)、灵敏度(Sensitivity)和测量范围。这些参数是评判MEMS陀螺仪性能好坏的重要标志,同时也决定陀螺仪的应用环境。
分辨率是指陀螺仪能检测的最小角速度,该参数与零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定。这三个参数主要说明了该陀螺仪的内部性能和抗干扰能力。对使用者而言,灵敏度更具有实际的选择意义。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大角速度。不同的应用场合对陀螺仪的各种性能指标有不同的要求。