CO2激光器具有体积大、结构复杂、维护困难，金属对10.6μm波长的激光不能够很好的吸收，不能采用光纤传输激光以及焊接时光致等离子体严重等缺点。
CO2激光器发展状况
封离式 | 慢速轴流 | 横流 | 快速轴流 | 涡轮风机快速轴流 | 扩散型SLAB | |
出现年代 | 20世纪70年代中期 | 20世纪80年代早期 | 20世纪80年代中期 | 20世纪80年代后期 | 20世纪90年代早期 | 20世纪90年代中期 |
功率 | 500 | 1000 | 20000 | 5000 | 10000 | 5000 |
光束质量MF因子 | 不稳定 | 1.5 | 10 | 5 | 2.5 | 1.2 |
光束质量Kt因子 | 不稳定 | 5 | 35 | 17 | 9 | 4.5 |
从上表可以看出，早期的CO2激光器取向激光功率提高的方向发展，但当激光功率达到一定要求后，激光器的光束质量受到重视，激光器的发展随之转移到提高光束质量上。接近衍射极限的扩散冷却板条式CO2激光器具有较好的光束质量，一经推出就得到了广泛的应用，尤其是在激光切割领域，受到众多企业的青睐。
