1、测量原理:触针法，差动电感传感器;

2、垂直测量范围:4/40/400μm;

3、示值误差:≤±5%;

4、最小分辨力:0.001μm

5、取样长度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm;

6、评定长度:N倍取样长度，N=1，2，3，4，5;

7、数字滤波器:国际、相位校正、不滤波、高斯;

8、粗糙度测量参数:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq(符合GB/T 3505-2000定义);

9、图像分析功能:轮廓曲线-NR，轮廓曲线-支承率，支承率-图表等;

10、直接轮廓测量系统的测量参数:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq(符合GB/T 3505-2000定义); 11、直线度测量系统的测量参数:Pt,Pp,Pv,|X2--X1|,|Y2-Y1|;

12、轮廓图形的垂直放大倍率:10，100，200，500，1000，2000，5000，10000，20000，50000，100000，200000;

13、轮廓图形的水平放大倍率:2，5，10，20，50，100，200，500，1000，2000，5000;

14、驱动箱滑行长度:100mm;

15、驱动箱滑行速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s

16、传感器返回形式:手动，自动;

17、基准导轨的直线性:1μm/100mm;

18、传感器测针:金刚石圆锥，锥角90°，针尖半径2μm;

19、立柱结构:滚动丝杠升降系统，快慢速机动升降，自动对准零位;

20、立柱上升高度:480mm;

21、工作底台:450mm×600mm 大理石平台。