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谐振腔的主要参数是谐振频率f和品质因数Q。谐振频率决定于腔的形状、尺寸和工作模式。谐振腔的有载品质因数QL为
谐振腔的损耗包括内部损耗和外部损耗,前者为腔壁导体的损耗和腔内介质的损耗;后者取决于通过耦合孔反映的外电路负载情况
式中Qi称为内部品质因数(也称为固有品质因数或无载品质因数),Qe称为外部品质因数。