1．高频发生器的一般构造：高频发生器为一电能转换器，将市用电转换成高频电，并有必要的功率输出和特定的输出波型。按其构造，可分为三种类型：

（1）间隙火花震荡器：由间隙放电器、电感及电容组成回路，可产生震荡。用不同的电容和电感，可产生不同的频率和波型。装置较简单，但频率不稳、体积较大，现已少用。

（2）电子管震荡发生器：由电子管及电感电容组成回路，产生高频震荡。频率稳定，但体积大、频率低，有一定寿命。

（3）晶体管震荡发生器：频率稳定，体积小，重量轻，使用寿命长，效率高，是目前较理想的一种高频发生器 。

2．按照激发形式，高频发生器主要有两类：

（1）“自激”式发生器（电子管自激振荡）。它能使振荡电流的频率随等离子体阻抗的变化而变化。自激式振荡器线路简单，振荡、激励、功率放大都由一个电子管同时完成，易与负载阻抗相匹配，易于点燃等离子体，但频率稳定度稍差。

（2）“它激”式石英稳频发生器（晶体控制振荡）。它是利用压电晶体的振荡来调节电流频率，从而保持频率的恒定。这种发生器的主要优点是振荡频率恒定，功率稳定，转换效率高，抗干扰能力较强。其结构比“自激”式发生器复杂，但在ICP商品仪器中的应用比自激式振荡器广泛。

他激式振荡器由晶体振荡、倍频、激励、功率放大等部分组成，频率稳定性高，但对输出阻抗的匹配要求较严，一般还配备阻抗匹配网络和稳定输出功率的定向耦合器等。一般要求高频发生器具有稳定的功率输出，对测量系统无电学干扰、功率转换效率高以及频率尽可能稳定等 。