ICP系统中的高频发生器的作用是向感应螺管提供高频电流。在高频发生器的螺管中产生的高频电流为ICP的工作提供了必不可少的振荡磁场。等离子炬的能量来源于高频发生器。当等离子体引燃后，负载线圈与等离子体组成类同一个变压器，负载线圈是这个变压器的初级线圈，而等离子休相当于一匝次级线圈：高频功率便通过负载线圈耦合到等离子体中去，使等离子体焰炬维持不灭。高频发生器的输出功率主要消耗在负载线圈发热、等离子体焰炬（入射功率）和部分地反射回来（反射功率）。

在输入一定范围的电源电压后，高频发生器产生2.65MHZ高频恒电压送给功率耦合器，由功率耦合器在玻壳的放电空间内建立静电强磁场，对放电空间内的大气进行电离，并生产强紫外光，玻璃泡壳内壁的三基色荧光粉受强紫外光激励发光。在电源设计上，由于采用APFC电源控制技术和采用IC技术，一方面使得电源的功率因数高达0.95以上；另一方面使得高频发生器始终以高频恒电压点灯。所以，输入的电源电压在一定范围内波动时，其发光亮度均不变。

对高频发生器的要求主要有：

1.高频发牛器的振荡频率一般为27.12MHz或40.68MHz，输出功率一般为1～1.5kW。

2.反射功率越小越好，一般要求小于10W。

3.要求高频发生器的输出功率有极好的稳定性，因为输送到ICP的功率只要有0.1%的漂移，发射强度就能产生超过1%的变化。因此，高频发生器的功率变化必须小于±0.05%。

4.高频发生器应有良好的接地装置，其接地电阻越小越好，一般以不超过4 Ω为宜 。