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三维扫描成像系统技术指标

2022/07/15225 作者：佚名
导读：(1) 扫描模式：大光斑平均模式和点扫描模式 (2) 成像区域：100x100 μm (3) 分辨率：1 nm。

(1) 扫描模式：大光斑平均模式和点扫描模式 (2) 成像区域：100x100 μm (3) 分辨率：1 nm。

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