非蒸散型吸气剂（NEG）可以吸收超高真空下的大部分气体，将其镀在真空室内壁后形成NEG薄膜，可使真空室由放气源变为具有抽起作用的真空泵。NEG薄膜可以有效减小加速器储存环内的动态气载，降低其纵向气压梯度，因而在国外粒子加速器领域已获得较多的应用。TiZrV合金是迄今所发现的具有最低激活温度的NEG材料，因而成为目前最为常用的NEG薄膜材料。.尽管TiZrV有很好的真空性能，但随着激活次数的增加，其吸气能力会逐渐下降直至最终消失，而在其表面镀上一层Pd可以使NEG表面免于氧化，并使其寿命大大延长。本课题将对真空室内壁镀TiZrV/Pd复合薄膜的过程进行模拟，并对镀膜工艺以及薄膜相关性能展开系统的研究。此项研究成果不仅在加速器真空室的表面处理领域，在真空获得设备和微电子等领域都具有广阔的应用前景。
