TEO8060适用最大产品尺寸范围680mm*640mm*100mm。TEO8060平台尺寸： 810*810mm。TEO8060平台高度一致性：5um@100mm*100mm。TEO8060扫描机构平整度：5um@100mm*100mm。TEO8060具有自动Z轴测量功能辅助工件安装平面的调整，测量精度：优于±3um。TEO8060完成600mm*600mm自动面阵检测时间≤1.7小时。（相机行频30K，扫描精度1um，视野3mm，算法 机械运动时间0.5倍，检测时间=(X检测范围/行频)*(Y检测范围/视野)*倍=(600,000/30,000) * (600 / 3) * 1.5=6000秒≈1.67小时）。
