一般先校准零点,再进行满度校准。
(1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa),按“校零”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点,当显示1.0^-1Pa时,表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。
(2)满度校正。校准完零点后,需对其满度校正。按满度校正过程要求,对被测炉腔放人大气,确保被校电阻规所测位置为大气状态,在大气压下工作约10分钟。按“满度”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正满度,当显示1.0^5 Pa时,表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计,可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。2100433B