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真空回流炉冷却系统

2022/07/16208 作者:佚名
导读:分为内循环和外循环 内循环:设备内部有个水箱,内装有DI water,通过水泵将水箱里面水进行循环,用来冷却加热板、法兰、plasma。外循环:客户提供外部冷却水用来冷却水箱。

分为内循环和外循环 内循环:设备内部有个水箱,内装有DI water,通过水泵将水箱里面水进行循环,用来冷却加热板、法兰、plasma。外循环:客户提供外部冷却水用来冷却水箱。

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