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纳米微机电系统简介

2022/07/16114 作者：佚名
导读：纳米微机电系统，在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统。是20世纪90年代末提出的一个概念。特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征。

纳米微机电系统，在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统。是20世纪90年代末提出的一个概念。特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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