非晶硅薄膜晶体管(a-Si:H TFT--amorphous silicon thin film transistor)沟道采用非晶硅材料制成。由于非晶硅可以淀积在各种大面积的衬底上,所以生产成本低廉,得到了广泛的应用。
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中文名称
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非晶硅薄膜晶体管
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英文名称
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α-Si∶H thin film transistor,TFT
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定 义
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利用氢化非晶硅具有敏感的场效应特性制备的薄膜场效应晶体管。具有很低的关断电流和很高的开关电流比,广泛用于液晶显示屏和平面摄像器件的地址矩阵。
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应用学科
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材料科学技术(一级学科),半导体材料(二级学科),非晶和微晶半导体材料(三级学科)