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热蒸发真空镀膜设备技术指标

2022/07/16153 作者：佚名
导读：1、机片尺寸为10*10毫米；2、基片（样品）加热温度为300度；3、漏率小于10e-7pa;4、极限真空5*10e-4pa;5、从大气抽气6。6*10e-6pa。

1、机片尺寸为10*10毫米；2、基片（样品）加热温度为300度；3、漏率小于10e-7pa;4、极限真空5*10e-4pa;5、从大气抽气6。6*10e-6pa。

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