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有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、背散射电子成像。 具有高性能x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。 2100433B