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20世纪40年代初，联邦德国奥斯兰公司发展研究中心实验室率先研究了稀有气体短弧光源的特性，经多年研制和改进，于1951年正式向市场推出超高压短弧氙灯。1954年，在联邦德国科隆世界照明和电影博览会上，蔡司－依康公司展出了第一只作为电影放映光源的氙灯。随后荷兰、日本、美国、英国、苏联和中国也相继研制和生产各种规格的电影放映用氙灯。此后，超高压短弧氙灯已在世界上大多数影院取代碳弧光源成为新的电影放映光源。
