实施例1
《一种纯度为99.99999%三氯氧磷的生产方法》包括以下步骤：
（1）复合络合剂A是将50千克浓度为85％的磷酸、50千克的磷酸二氢铵混合均匀，加热溶解配制而成；复合络合剂B是将90千克浓度为85％的磷酸、1千克的磷酸二氢铵、3千克草酸、6千克柠檬酸混合均匀，加热溶解配制而成；配制复合络合剂所用磷酸二氢铵、草酸、柠檬酸中的铁、铜、铅、砷杂质含量不超过5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二级标准要求。
（2）将纯度为99.5％的工业三氯氧磷100千克，加入搪瓷反应釜中，升温至20℃，开启搪瓷釜搅拌，缓慢加入2千克复合络合剂A，保持温度为20℃的条件下反应60分钟，然后用石英蒸馏器蒸馏取100～107℃馏分得到一次蒸馏品88千克，收集一次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（3）将收集的二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分各6千克，与一次蒸馏品88千克加入搪瓷反应釜中，再加入2.5千克复合络合剂B，控制温度为50℃，在反应釜中搅拌充分反应40分钟，然后经沉积分层取上层清液用0.1微米PVDF过滤器过滤、再在石英蒸馏器中进行蒸馏，取100～107℃馏分得到二次蒸馏品92千克，收集二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（4）将二次蒸馏品经石英精馏塔精馏得99.99999％的电子级三氯氧磷85千克，在洁净环境为局部百级的包装环境下，用高纯石英或高纯PFA材料制成包装容器包装即可。
产品经ICP-MS检测，各项金属杂质含量：Al＝7.02ppb，Ag＝0.45ppb，As＝4.86ppb，Au＝0.32ppb，Ba＝0.55ppb，Bi＝0.26ppb，Ca＝4.10ppb，Co＝0.12ppb，Cu＝0.63ppb，Cr＝0.15ppb，Fe＝7.63ppb，Ga＝0.02ppb，Hg＝2.23ppb，K＝1.32ppb，Li＝3.32ppb，Mg＝4.01ppb，Mn＝0.62ppb，Na＝2.01ppb，Ni＝0.24ppb，Nb＝0.03ppb，Pb＝2.92ppb，Sn＝0.15ppb，Sr＝0.03ppb，Ti＝0.13ppb，Zn＝0.26ppb。
实施例2
《一种纯度为99.99999%三氯氧磷的生产方法》包括以下步骤：
（1）复合络合剂A是将90千克浓度为86％的磷酸、10千克的磷酸二氢铵混合均匀，加热溶解配制而成；复合络合剂B是将50千克浓度为86％的磷酸、10千克的磷酸二氢铵、15千克草酸、25千克柠檬酸混合均匀，加热溶解配制而成；配制复合络合剂所用磷酸二氢铵、草酸、柠檬酸中的铁、铜、铅、砷杂质含量不超过5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二级标准要求。
（2）将纯度为99.5％的工业三氯氧磷100千克，加入搪瓷反应釜中，升温至20℃，开启搪瓷釜搅拌，缓慢加入4千克复合络合剂A，保持温度为40℃的条件下反应40分钟，然后用石英蒸馏器蒸馏取100～107℃馏分得到一 次蒸馏品89千克，收集一次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（3）将收集的二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分各5.5千克，和一次蒸馏品89千克加入搪瓷反应釜中，再加入1千克复合络合剂B，控制温度为30℃，在反应釜中搅拌充分反应60分钟，然后经沉积分层取上层清液用0.1微米PVDF过滤器过滤、再在石英蒸馏器中进行蒸馏，取100～107℃馏分得到二次蒸馏品93千克，收集二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（4）将二次蒸馏品经石英精馏塔精馏得99.99999％的电子级三氯氧磷85.5千克，在洁净环境为局部百级的包装环境下，用高纯石英或高纯PFA材料制成包装容器包装即可。
产品经ICP-MS检测，各项金属杂质含量：Al＝6.54ppb，Ag＝0.65ppb，As＝4.32ppb，Au＝0.42ppb，Ba＝0.46ppb，Bi＝0.27ppb，Ca＝4.80ppb，Co＝0.22ppb，Cu＝0.73ppb，Cr＝0.16ppb，Fe＝7.83ppb，Ga＝0.42ppb，Hg＝2.89ppb，K＝1.77ppb，Li＝3.85ppb，Mg＝4.58ppb，Mn＝0.88ppb，Na＝2.53ppb，Ni＝0.28ppb，Nb＝0.21ppb，Pb＝2.82ppb，Sn＝0.16ppb，Sr＝0.24ppb，Ti＝0.13ppb，Zn＝0.66ppb。
实施例3
《一种纯度为99.99999%三氯氧磷的生产方法》包括以下步骤：
（1）复合络合剂A是将70千克浓度为87％的磷酸、30千克的磷酸二氢铵混合均匀，加热溶解配制而成；复合络合剂B是将60千克浓度为87％的磷酸、5千克的磷酸二氢铵、25千克草酸、10千克柠檬酸混合均匀，加热溶解配制而成；配制复合络合剂所用磷酸二氢铵、草酸、柠檬酸中的铁、铜、铅、砷杂质含量不超过5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二级标准要求；
（2）将纯度为99.5％的工业三氯氧磷100千克，加入搪瓷反应釜中，升温至20℃，开启搪瓷釜搅拌，缓慢加入1千克复合络合剂A，保持温度为50℃的条件下反应60分钟，然后用石英蒸馏器蒸馏取100～107℃馏分得到一次蒸馏品86千克，收集一次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（3）将收集的二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分各7千克，和一次蒸馏品86千克加入搪瓷反应釜中，再加入5千克复合络合剂B，控制温度为25℃，在反应釜中搅拌充分反应100分钟，然后经沉积分层取上层清液用0.1微米PVDF过滤器过滤、再在石英蒸馏器中进行蒸馏，取100～107℃馏分得到二次蒸馏品95千克，收集二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（4）将二次蒸馏品经石英精馏塔精馏得99.99999％的电子级三氯氧磷87.5千克，在洁净环境为局部百级的包装环境下，用高纯石英或高纯PFA材料制成包装容器包装即可。
产品经ICP-MS检测，各项金属杂质含量：Al＝7.32ppb，Ag＝0.25ppb，As＝4.55ppb，Au＝0.31ppb，Ba＝0.52ppb，Bi＝0.23ppb，Ca＝3.10ppb，Co＝0.12ppb，Cu＝0.47ppb，Cr＝0.14ppb，Fe＝7.58ppb，Ga＝0.14ppb，Hg＝2.33ppb，K＝1.08ppb，Li＝3.58ppb，Mg＝4.24ppb，Mn＝0.52ppb，Na＝2.03ppb，Ni＝0.29ppb，Nb＝0.03ppb，Pb＝2.85ppb，Sn＝0.15ppb，Sr＝0.11ppb，Ti＝0.14ppb，Zn＝0.18ppb。
实施例4
《一种纯度为99.99999%三氯氧磷的生产方法》包括以下步骤：
（1）复合络合剂A是将60千克浓度为85％的磷酸、40千克磷酸二氢铵混合均匀，加热溶解配制而成；复合络合剂B是将55千克浓度为85％的磷酸、3千克磷酸二氢铵、20千克草酸、22千克柠檬酸混合均匀，加热溶解配制而成；配制复合络合剂所用磷酸二氢铵、草酸、柠檬酸中的铁、铜、铅、砷杂质含量不超过5ppm；使用磷酸符合SEMI C36-0301二级标准要求。
（2）将纯度为99.5％的工业三氯氧磷50千克与收集的一次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分各25千克，加入搪瓷反应釜中，升温至20℃，开启搪瓷釜搅拌，缓慢加入2.5千克复合络合剂A，保持温度为40℃的条件下反应60分钟，然后用石英蒸馏器蒸馏取100～107℃馏分得到一次蒸馏品78千克，收集一次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（3）将收集的二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分各11千克，和一次蒸馏品78千克加入搪瓷反应釜中，再加入3千克复合络合剂B，控制温度为35℃，在反应釜中搅拌充分反应60分钟，然后经沉积分层取上层清液用0.1微米PVDF过滤器过滤、再在石英蒸馏器中进行蒸馏，取100～107℃馏分得到二次蒸馏品94千克，收集二次蒸馏产生的100℃以前的低沸物和107℃以后的重组分；
（4）将二次蒸馏品经石英精馏塔精馏得99.99999％的电子级三氯氧磷86千克，在洁净环境为局部百级的包装环境下，用高纯石英或高纯PFA材料制成包装容器包装即可。
产品经ICP-MS检测，各项金属杂质含量：Al＝6.82ppb，Ag＝0.55ppb，As＝4.68ppb，Au＝0.51ppb，Ba＝0.58ppb，Bi＝0.55ppb，Ca＝3.23ppb，Co＝0.13ppb，Cu＝0.78ppb，Cr＝0.45ppb，Fe＝7.52ppb，Ga＝0.78ppb，Hg＝2.56ppb，K＝1.99ppb，Li＝3.85ppb，Mg＝4.56ppb，Mn＝0.72ppb，Na＝2.35ppb，Ni＝0.39ppb，Nb＝0.55ppb，Pb＝2.84ppb，Sn＝0.18ppb，Sr＝0.25ppb，Ti＝0.74ppb，Zn＝0.56ppb。
