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扩散泵DIP系列

2022/07/18195 作者:佚名
导读:该系统是上个世纪九十年代研发的新的大口径扩散泵,对传统的扩散泵作了重大改进.其主要特点有:①抽速大,抽速范围为3000~50000 L/s六种规格。泵壁有上凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积、冷却效果好。莱宝公司又于2003年对DIP扩散泵进行了进一步的改进,将水冷管改为水冷夹层。扩散泵的整体改为全不锈钢材质。从而进一步提高DIP系列泵的性能指标。②油蒸汽返流率低。不加外置水冷挡板并使用普通

该系统是上个世纪九十年代研发的新的大口径扩散泵,对传统的扩散泵作了重大改进.其主要特点有:①抽速大,抽速范围为3000~50000 L/s六种规格。泵壁有上凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积、冷却效果好。莱宝公司又于2003年对DIP扩散泵进行了进一步的改进,将水冷管改为水冷夹层。扩散泵的整体改为全不锈钢材质。从而进一步提高DIP系列泵的性能指标。②油蒸汽返流率低。不加外置水冷挡板并使用普通矿物油,其返油率为1×10-3mg/cm2·min;如果采用DC-705硅油,返油率可降至于1×10-4mg/cm2·min;极限压力低于10-6Pa。③抽气曲线上,在入口压力为10-1Pa时达到最大抽速,且抽速稳定。④采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热,传热效率高,预热时间短。对于抽速为3000~20000L/s的泵,预热时间少于25min;30000~50000L/s的泵预热时间少于30min。可在不停泵的情况下更换加热棒。⑤装有过热装置,防止泵油过热。通过观察窗可随时观察泵油的质和量。泵上设有注油口和放油口,换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下。最大允许前级压力高,为60 Pa。

其结构示意图(以DIF800为例)如图1所示:

图1

DIF系列为3~4级喷咀,并作成托盘结构,可调节各级喷咀的喉部间隙。在泵体内带水冷帽。用多个盘式加热器。

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