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光学轮廓仪可对物体进行非接触表面测量,其显示精度可达亚纳米级,同时可对工件进行纳米级表面粗糙度测量。 2100433B
垂直分辨率(纵向) <0.1 nm Z轴调整≤350mm 精度0.11μm RMS重复精度 ≤0.01 nm RMS 垂直扫描范围 150μm 测量时间 5~20s 扫描速度 ≤135μm/s 采样数据点640×480点/次采集 台阶测量准确度 ≤0.75% 台阶测量重复率 ≤0.1%, 最大可拼接直径 ≤φ50 mm 物镜 2.5倍 20倍 目镜 0.5倍, 1倍,2倍。
干涉原理上来说,白光和激光没有本质区别,就是频率有差别而已 。但目前使用的大部分迈克尔逊干涉仪是 白光式的。
白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发...
都可以 看什么零件 轮廓仪价格高
白光干涉自动测量砂轮表面时干涉区间的确定
用白光干涉仪自动测量金刚石砂轮表面形貌时,为了获得更精准的干涉区域,在干涉仪所采集到的一系列图像中,首先通过计算相邻的2张图像各像素灰度值的变化从而得到一系列新的灰度图像。然后计算每帧新图像的非零点像素的均值和极值,据此计算得出用于确定干涉区域的阈值以实现自动扫描。实验表明:此方法运算速度较快,而且对局部区域的干涉更敏感,可以更精确地搜索出干涉区间。采用步进电机和压电陶瓷二级驱动,可以在100 s内实现100μm范围内扫描区间的自动获取并实现垂直方向的数据采集。
触针式轮廓仪弹性测量杆的设计
针对传统的触针式轮廓仪杠杆式测量杆的转动支点由于滚动体跳动容易引入随机误差的问题,提出并设计了一种基于弹性变形理论的轮廓仪测量杆。利用高精度电容传感器测量测量杆的弹性变形量,然后利用悬臂梁的挠曲线公式求出触针针尖的位移量从而得到待测面的微观不平度信息,消除了杠杆式测量杆引入的随机误差,进一步提高了粗糙度测量精度。
详细信息
它的两种典型结构如图所示。图a是把标准具置于真空室中,用调节真空室的气压去改变折射率实现扫描。图b是把标准具置于密封的真空室中,利用改变施加到电致伸缩元件上的电压去调节两反射面的间隔,实现扫描。 把扫描干涉仪、单色仪和光电接收技术结合起来可研究光谱线的超精细结构,也就是光谱线的各光谱成分的波长和强度。扫描干涉仪在研究激光纵模方面意义更大,并且往往不需单色仪,只需使用激光器、隔离器、扫描干涉仪、光电探测电路组成的系统,即可测定激光各纵模波长和强度。
条纹扫描干涉仪 条纹扫描干涉仪的特点:①干涉系统本身的误差可用绝对校正法测出和存储,并在后续的波面测试中自动除去,因此降低了干涉系统各光学元件的加工要求。当要求测量精度为/100时,干涉系统的波面误差只要1就够了。②由于二极管阵列上光强以随机形式多次取样和平均,因此大气抖动、振动及热变形对测量精度的影响明显下降。
干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米),所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
白光干涉仪的主要功能: 观察、分析、应用
特点:
1 、非接触式测量:避免物件受损。 2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
6 、扫描仪:闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
应用领域:
1、半导体晶片 2、液晶产品(CS,LGP,BIU)
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘(HDD,DVD,CD)
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程