地纳米加速器由高压倍加系统，高频振荡器，加速管，电子枪，引出扫描系统，真空系统，SF6气体处理系统等设备组成。高频振荡器由高频震荡管、高频变压器和高频电极及对钢筒、倍压芯柱之间形成的分布电容组成，它在两个高频电极之间产生300kV以上高频电压，这一高频电压通过高频电极与芯柱上半圆电晕环间的分布电容和芯柱内的整流硅堆组成并联耦合级联倍压系统，在高压电极上产生极高的直流电压，与高压电极处在等电位的电子枪所产生的电子流在此负极性电压作用下通过加速管时得到加速，从加速管中出来的高能电子束由磁扫描器在水平方向进行扫描，然后穿过钛窗对产品进行辐射加工。高气压钢筒内充以SF6气体以保证加速器的高电位梯度。

地那米加速器在辐射加工中得到了大量实际应用，如电线电缆的聚乙烯绝缘材料和聚乙烯发泡塑料的辐射交联，橡胶硫化，辐照生产高强度耐温聚乙烯热缩管等。

1931年美国的范德格拉夫(R.J.Van de Graaff)发明了静电加速器，质子能量达到1.5MeV。串列加速器就是在静电加速器基础上发展起来的、由两段(甚至三段)静电加速器组成的加速器。

衡量加速器性能主要看加速粒子所能达到的能量和粒子流的强度(流强)。按照粒子能量的大小，加速器可分为低能加速器(能量小于100MeV)、中能加速器(能量在100MeV~1GeV)、高能加速器(能量在1GeV~1TeV)和超高能加速器(能量在1TeV以上)。目前低能和中能加速器主要用于各种实际应用。

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