三极型离子枪有阴极、栅极和引片极,阴极是用螺旋式钨丝制成,加热产生电子。当枪内进氩气,阴极所发射的电子,在栅极正电位的吸引下加速,大部分电子穿过珊极,又受到耐极的反向吸引,再次向栅极加速,这样,电子就在栅极附近来回振荡 。

三极型离子枪结构稍复杂，工作气压较低,束流密度较小,束流、束能均可调。三极型离子枪主要用于离子束清洗或离子束戮射。由于它的束流密度较小、束径较细(直径小于Zmm),用于离子辅助镀膜有一定困难 。

1：对塑料压制形成的产品除电、除尘。

2：对汽车、船舶、FRP等，木工家具、各种三合板、化妆板等的宽幅产品的除电、除尘。

二极型枪是最简单的一种离子枪。工作气体一般为冠气,也可以是其池气体,气压大约为珍一).托到几托,在阴、阳极之间加直流高压,出极表面场致发射电子,使离化室(阴极与阳极之间的间絮)中的冠分子电离成正离予,并在阴极的小孔处形成忽子束 。

二极型离子枪结沟简单,工作气压较高,离化率低,束流较小且难以调节,离子束的能量也较低。二极型离子枪主要用于离子刻蚀、表面清洁等,也可以作为离子辅助镀膜中的离子源 。

空气离子枪身为耐久性高的强化塑料制成，有除电除尘效果。离子风枪有空气加强功能，可有效发挥除尘效果。在风枪尖端为扇形，风咀可根据产品形状分开使用。

1：轻量，耐久性强的塑料制造成的，用于除电除尘。

2：附有空气加强功能

空心阴极枪工作气体为氩气。工作对阴极(空心钽管)的温度达2300~2400°K,产生热电子发射,氢气在枪口处被电离。等离子体由电场和聚焦磁场引出,电子经偏冷后打在坩埚上,使坡镀材料容融蒸发,与氩离子碰撞后电离并镀于基片上。空心阴极枪电压不高,电流很大,能在金属基片上镀金属膜或用反应淀积技长镀制金属化合物膜。这种枪很适合于镀仿金装饰膜和硬质耐磨膜 。