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离子注入机其在国内外的发展现状

离子注入机其在国内外的发展现状

目前,我国8英寸100纳米大角度离子注入机项目已成功实施,现在正着手研发下一代65纳米低能大束流离子注入机,同时,开发与之配套的工艺装备。

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离子注入机造价信息

  • 市场价
  • 信息价
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注入植筋胶

  • 品种:注入植筋胶;等级:A级;规格:380ml;
  • 大筑
  • 13%
  • 抚顺市军威新型建筑材料有限公司
  • 2022-12-06
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新风机室内外连接线

  • ZC-RVVP2*1.0
  • m
  • 小猫
  • 13%
  • 廊坊市南町五金桥架厂驻太原办事处
  • 2022-12-06
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大腿内外翻一体

  • 3.0mm
  • 达创
  • 13%
  • 河北达创体育器材有限公司
  • 2022-12-06
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离子体空气消毒

  • FX-J050、173×48×37mm
  • 绿粤
  • 13%
  • 深圳市绿粤生态科技有限公司
  • 2022-12-06
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环绕气流嵌入式空调机

  • FSFP71AB
  • 13%
  • 成都安美环境工程有限责任公司
  • 2022-12-06
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离子弧焊机

  • 电流300A
  • 台班
  • 汕头市2012年4季度信息价
  • 建筑工程
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离子弧焊机

  • 电流300A
  • 台班
  • 汕头市2012年3季度信息价
  • 建筑工程
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离子切割机

  • 电流400A
  • 台班
  • 汕头市2012年2季度信息价
  • 建筑工程
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离子切割机

  • 电流400A
  • 台班
  • 汕头市2012年1季度信息价
  • 建筑工程
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离子弧焊机

  • 电流300A
  • 台班
  • 汕头市2011年4季度信息价
  • 建筑工程
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高速球(国内外名牌)

  • 高速球(包含摄像、镜头、云台及解码板、防护罩)
  • 265套
  • 1
  • 含税费 | 不含运费
  • 2011-06-15
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发展历程

  • 视频 发展历程
  • 48秒
  • 3
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2020-07-06
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成眉同城跨越发展

  • 视频 成眉同城跨越发展
  • 120秒
  • 3
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2020-07-06
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全省技工院校发展变迁图表

  • 全省技工院校发展变迁图表
  • 1套
  • 1
  • 高档
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2022-01-07
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低温缓蚀剂注入泵电

  • YB3-801-4WTH
  • 1个
  • 1
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2017-02-27
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离子注入机原理

离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成,可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于原子的电离电位时,通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外,还出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器选出需要的离子,再经过加速器获得较高能量,由四级透镜聚焦后进入靶室,进行离子注入。

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离子注入机应用

离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备,离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制,克服了常规工艺的限制,提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命,降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺,可以满足浅结、低温和精确控制等要求,已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。

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离子注入机其在国内外的发展现状常见问题

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离子注入机其在国内外的发展现状文献

国内外LED发展现状概述 国内外LED发展现状概述

国内外LED发展现状概述

格式:pdf

大小:1.7MB

页数: 10页

国内外LED发展现状概述

国内外切割机研究与发展现状简介 国内外切割机研究与发展现状简介

国内外切割机研究与发展现状简介

格式:pdf

大小:1.7MB

页数: 6页

国内外切割机研究与发展现状简介 作者: 陶有生 作者单位: 中国加气混凝土协会 本文链接: http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_6884911.aspx

真空电弧离子注入机技术指标

极限真空优于5*10^-4Pa;真空室尺寸:Φ600mm球形;抽速:26分钟达到1×10-3Pa;钛靶和碳靶各2个,均为Ф100mm;弧电源电流60~150A连续可调;脉冲负偏压0~1000V可调,占空比10%--90%可调;离子源平均引出电流/电压:10.7mA/76KV;束斑直径Ф150mm。

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高能离子注入机主要功能

可注入60多种元素,多倾角,高能量。 2100433B

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水平式离子注入机技术指标

离子注入后,需要进行一步高温退火过程来将杂质激活并推进到硅片内部,同时修复由于高能离子注入所引起的硅片表面晶格损伤.。

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