第一代即G1柔性检具：

G1 基于组合夹具，模块式、可自由组合、重复使用，包括螺纹孔阵、型材、液压等不同形式。

第二代即G2柔性检具：

G2 在传统检具或固定工装上增加自动测头、实现自动误差测量，通常包括测头、控制器、显示器、电缆等几部分。典型代表是MARPOSS系统。

第三代即G3柔性检具：

G3在可调工装上安装测头，自动、自适应、一对多。包括可调工装、测头、测头座、控制器、主控计算机、数据采集及处理软件等几个主要部分。

广义上，具备可调、大部分部件可以重复使用的专用尺寸误差检测工具都可以归为柔性检具。柔性检具可以通过适当调整完成对不同型号或产品的检测，所以具备一对多、所占空间小、材料浪费少的特点。同时，柔性检具通常是模块化结构，制造周期通常都比较短。

检具是工业生产企业为控制产品的各种机械尺寸而特制的一种专用测量工具，适用于大批量生产的产品，如汽车零部件等，以替代卡规、塞规、三坐标测量机等测量工具。游标卡尺，深度尺属于量具，非检具。

汽车制造业中，检具被广泛用于冲压、注塑、装配等车间，价格从几万人民币到上百万人民币不等。通常，专用检具（hard fixture）是基于产品CAD和质量控制要求来定制的，一般情况下，一个零部件至少需要一个检具。当被测工件固定在专用检具上后，质量控制工程师使用手工工具如塞尺、量表等测量工件与检具之间的误差。这里，检具是所有测量的参考和基准。所以，这种专用检具的制造和装配精度决定了产品尺寸误差检测的可靠度。一旦检具本身有误差时，产品质量就可能出现严重问题。因此，专用检具的定期和不定期检定就非常重要，以确保检具不至于因为变形而不在可用状态。

在通用汽车公司，内外门板以及侧围等所需传统检具价格近160万美元，采用新的可调式检具可以大大节约用户的检具成本；一套基于机器手的非接触式误差检测系统费用大约为140万美元；一套32测头的激光三维检测系统价格约为40万美元；而一个32测头的SoftGager™系统（新百利）不足3万美元。

另外，传统检具通常是无法重复使用的，而柔性检具通过调整和重新标定，几乎全部可以重复使用，相比之下，柔性检具的经济性是显而易见的。从趋势上看，误差检测的自动化和系统的重复使用性是检具的发展方向。