气体或蒸汽被固体表面浮获而附着在表面上，形成单层或多层气体分子层的现象叫做吸附。能捕集气体的固体叫吸附剂，而被吸附的气体成份叫吸附质。发生吸附作用的原因是由于在吸附剂表面存在着力场。根据吸附力的不同，气体吸附可分为物理吸附和化学吸附。物理吸附是气体分子受范德瓦尔斯力的吸引作用而附着在吸附剂表面之上，与气体的液化过程相类似，其特点是吸附较弱，吸附热较小，吸附不稳定，较易脱附，但对吸附的气体一般无选择性，温度越低吸附量越大，能形成多层吸附，分子筛吸附泵和低温泵的吸气作用就属于物理吸附。化学吸附是靠固体表面原子与气体分子间形成吸附化学键实现的，与发生化学反应相类似，同物理吸附相比，化学吸附的特点是吸附强，吸附热大，稳定不易脱附，吸附有选择性，温度较高时发生化学吸附的气体分子增多，只能紧贴表面形成单层吸附(在化学吸附的分子上面还能形成物理吸附)，溅射离子泵和电子管中吸气剂的吸气作用就包括化学吸附。气体吸附的逆过程，即被吸附的气体或蒸汽从表面释放出来重新回到空间的过程，称为脱附或解吸。解吸现象可以是自然发生的，也可以是人为加速的。自然解吸有两种情况，一是从宏观平均地看，每个吸附气体分子在表面停留一段时间后，都要发生脱附飞回空间，这时也会有其它气体分子发生新的吸附，在气体温度、压力一定的条件下，吸附速率与脱附速率相等，表面上的气体吸附量维持恒定；另一种情况是在抽真空的过程中，空间气体压力不断降低，表面上脱附速率大干吸附速率，气体吸附量逐渐减少，气体从表面上缓缓放出，这种现象在真空中叫做材料的放气或出气。工程中最关心的问题是表面上的气体吸附总量和抽空时的放气速率，但至今还没有很准确通用的计算方法，只能从实践经验中总结出：在低真空阶段，表面吸附及表面放气与空问气体相比，数量很小，其影响可以忽略不计；在中真空阶段，表面放气量已接近空间气体量，对二者应同样重视；进入高真空乃至超高真空阶段，表面放气(不计系统漏气时)已成为主要气体负荷，放气的快慢直接影响着抽空时间。通过人为的手段有意识地促进气体解吸现象的发生，在真空技术中叫做去气或除气。人工去气可以缩短系统达到极限真空的时间；可以获得没有气体分子遮盖的清洁表面。加热烘烤去气方法通过提高吸气表面的温度，增加分子热运动能量来促进解吸，边加热边排气，常用于超高真空系统容器内表面及内部构件的去气和真空电子器件内灯丝等内部金属元件的去气；离子轰击去气方法一般是在空间形成气体放电，产生离子体区，使高能离子轰击待清洗的固体表面，产生气体溅射，使吸附气体发生脱附，这是一种相当有效、简捷迅速的除气手段，在薄膜技术、表面科学等有气体放电条件或有离子源的设备中广泛采用。

所谓蒸汽(又称可凝性气体)，是相对于永久气体(或称非可凝性气体)而言的。对于任何一种气体，都存在有一个临界温度，在临界温度以上的气体，不能通过等温压缩发生液化，称为永久气体；而在临界温度以下的气体，靠单纯增加压力即能使其液化，便是蒸汽。

空间中的蒸汽分子返回到液体内去的过程叫做凝结。蒸汽的凝结率W[kg/(m2

·s)]，即单位时间内在单位面积液面上凝结的蒸汽质量，可借助(20)式计算(23)式中α为凝结系数，pv为蒸汽的分压力。

凝结的逆过程，即液体分子飞到空间变成蒸汽的现象，叫蒸发。单位时间通过单位面积液面蒸发的质量叫蒸发率Gv[kg/(m2·s)]在汽、液共存的条件下，蒸发和凝结现象同时存在，若蒸发率大于凝结率，则宏观上表现为液体的蒸发；若蒸发率小于凝结率，则宏观上

表现为蒸汽的凝结；二者相等时，则处于饱和状态，此时空间蒸汽的压力称为对应平衡温度下的饱和蒸汽压ps。物质的饱和蒸汽压随着温度的升高而增大。液体的蒸发率与对应温度下的饱和蒸汽压间的关系为 (24)此式常用于蒸发镀膜中金属蒸发量的计算。

一种蒸汽的实际压力pv与其对应温度下的饱和蒸汽压ps之比，称为蒸汽当时的饱和度。作为最常用的一项指标参数，常把空气中水蒸汽的饱和度定义为空气的相对温度，相对温度(%) = pvH20/psH20 × 100% (25)例如：工程中定义标准环境条件为温度20oC，相对湿度65%，大气压力101325Pa。已知水蒸汽在20oC时的饱和蒸汽压为2333Pa(17．5托)，则可计算出标准环境条件下大气中水的分压力为0.65 × 2333 = 1516Pa(11.375托)。

饱和蒸汽压的存在，是蒸汽有别于理想气体模型的根本之处，也是我们要将蒸汽的性质单独作为一节讨论的原因。在真空工程中，在蒸汽没有达到饱和之前，即饱和度<1时，我们可以使用前面介绍的理想气体定律和公式来描述蒸汽的性质；而蒸汽一旦达到饱和，情况却大不相同，如果我们 对饱和蒸汽继续作等温压缩，蒸汽压力将不再升高而是维持饱和蒸汽压的值不变，即不再服从波义耳--马略特定律，为多余部分的蒸汽将凝聚为液态或固态；反之，在饱和蒸汽与其凝聚相(液态或固态)平衡共存的情况下，对蒸汽作等温膨胀，蒸汽的压力也不会降低，而是其凝聚相不断蒸发或升华来补充蒸汽，直至全部变成蒸汽为止。饱和蒸汽与其凝聚相间的这种等温相变，尤其是水蒸汽的存在，在真空工程中有着不容忽视的影响。

从上面的分析可知；在相联通的真空系统中，如果某一处存在有挥发性较强的固体或液体，那么此处就相当于系统中的一个放气源，使该物质在系统中的分压力始终为对应温度下的饱和蒸汽压，这常常会限制系统极限真空度的提高；如果相联通的真空系统各部分温度不同，那么整个系统中蒸汽的分压力都将与最低温度所对应的饱和蒸汽压相等，多余的蒸汽物质最后都将凝聚在具有最低温度的表面上，这正是低温冷阱可以提高系统真空度的原理。

饱和蒸汽受压缩时发生液化这一性质常给变容式真空泵的抽气带来困难，最突出的就是水蒸汽的抽除问题。以最常见的旋片泵为例：一个抽气周期包括进气腔膨胀吸气、隔离和排气腔压缩排气三步骤。如果吸入的气体中水蒸汽的比例较大，在水蒸汽和永久气体被压缩达到排气压力之前，水蒸汽的分压力已经达到饱和蒸汽压，那么继续压缩的过程中，就会有一部分水蒸汽发生液化而混入泵油中，无法排出泵外，并且回到膨胀腔后还会在低压下重新汽化成蒸汽，增大吸气侧的水蒸汽比例和压力，导致泵的抽气能力和极限真空的下降。若要保证水蒸汽能够全部排出泵外而不发生液化，那么吸入的水蒸汽分压力pv、永久气体分压力pp、对应泵温下的水蒸汽饱和蒸汽压A和泵的排气压力Pe间应满足如下关系：pv / pv pp<ps / pe 或 pv / pp < ps / pe-ps (26)例如：取泵的排气压强pe =1.1×lO5Pa，泵温70oC时水的饱和蒸汽压声， ps=3.125×104Pa，则水蒸汽占吸入气体的比例必须小于ps / pe=28.3%。在抽气后期，尤其是空气湿度较大时，这一条件很难达到。因为此时被抽容器内的永久气体成份已经很少，但容器内表面凝结的水蒸汽却不断放出，所占比例就变得很大。解决这一问题的一个传统方法是加气镇，即向压缩腔内充入永久气体成份以降低水蒸汽所占的比例，使其在达到饱和前便被排出。

水蒸汽的存在也会影响到压缩式真空计(麦氏计)的精确使用。测量读数时，如果测量管内经过压缩的气体中，水蒸汽的分压力尚低于当时饱和蒸汽压，那么读数表示的是水蒸汽和永久气体的全压力；若水蒸汽已经达到饱和发生液化，那么读数会比永久气体的分压力高一些，但无法得到准确的数据。为消除水蒸汽对测量的干扰，常在麦氏计前安一低温冷讲，这样测得的就只是永久气体的分压力。

液体(或固体)在真空中蒸发(或升华)变成蒸汽时需要吸收热量，称为汽化热。物质的汽化热随着汽化温度的升高而略有降低。比如lmol水，在50oC汽化，汽化热为42780J，而在100oC汽化，汽化热为40680J。蔬菜真空保鲜工艺中，让蔬菜的一部分水份在真空中蒸发抽除，这些水蒸发时要从蔬菜体内吸取汽化热，从而使蔬菜在脱水同时降温，正是利用了水蒸发吸热的原理；这种现象有时也会给真空操作带来问题，比如在大型真空装置中积存一些水，抽真空后一部分水蒸发成蒸汽排除，而这部分水吸收汽化热使其余的水降温直至结冰，余下的水就只能以升华的方式缓慢蒸发，从而延长抽真空的时间。

1. 处于平衡状态的理想气体分子，其热运动速度的分布服从麦克斯韦速度分布定律。气体分子热运动率介于v～v dv之间的几率为dN/N = F（v）dv = 4π（mo/2πkT）3/2·exp·（-mov2/2kT）·v2dv (9)式中F（v）是速率v（m/s）的连续函数，称为速率分布函数。mo = M/NA ，为一个气体分子的质量(kg)。利用速率分布函数，可以计算出反映分子热运动强度的三种特征速率。最可几速率vm 是在气体分子所具有的各种不同热运动速度中出现几率最大的速度，即与F(v)最大值相对应的v值；所有气体分子热运动速度的算术平均值叫算术平均速度v；把所有气体分子的速度的平方加起来，然后被分子总数除， 再开方就得到均方根速度vs。它们的计算公式如下： 2．理想气体的压力基本公式，将气体分子微观热运动的强弱直接与宏观上的气体压力定量联系起来：P = 1/3(nmovs2 = 1/3(pvs2) (11) 3．气体中一个分子与其它分子每连续二次碰撞之间所走过的路程称为自由程，自由程有长有短，差异很大，但大量自由程的统计平均值却是一定的，称为平均自由程页λ(m)。单一种类气体分子的平均自由程为(12-见下文) 如果是含有k种成份的混合气体，则(13)式中σ是气体分子的有效直径(m)，下标l、j分别代表第1、j种气体成份的参数。还可定义电子和离子在气体中运动的平均自由程λe和λi(m)。需要强调说明的是，这里所说电子或离子的自由程，是指电子或离子在气体中运动时与气体分子连续二次碰撞间所走过的路程，而没有考虑电子或离子本身之间的碰撞，所以电子和离子平均自由程计算式中出现的都是气体分子的参数，而与电子或离子的空间密度无关。(14)(15) 4．气体分子的某一次自由程取值完全是随机的，但大量自由程的长度分布却服从一定的统计规律。气体分子自由程大于一给定长度χ的几率为(16)类似地可得出，电子或离子在气体中运动的自由程大于一给定长度χ的几率为(17)(18)利用这种分布规律，结合平均自由程计算公式(12)～(15)，可以计算出做定向运动的粒子束流穿过空间气体时的散失率，或根据所限定的散失率确定空间气体所必须达到的真空度。

例如：一台离子束真空设备中，高能离子流由离子源射向25cm处的靶，若要求离子流与真空室内残余气体分子碰撞的散失率小于5%，那么温度为27oC的残余气体压力应为多少？

根据题意，可知当χ=O.25m时，要求 Pi(λi>χ)≥1%～5%，由(18)式，解出 exp(-0.25/λi)≥0.95，则 λi≥0.25/(-ln0.95)，即 λi≥4.87m。再将此结果代入(15)式得 kT/πσ2p≥4.87m；取空气的分子有效直径 σ=3.72 × 10-10m，则要求残余气体压力 p≤1.38 × 10-23 × 300/(π×3.722×10-20×4.87)，即p≤1.95 × 10-3Pa。

5．关于气体分子对所接触固体表面(如容器壁)的碰撞问题，可以从入射方向和入射数量二方面加以讨论。若一立体角dw与面积元ds的法线间的夹角为θ，则单位时间内由dw方向飞来碰撞到ds上的气体分子数目dNθ与cosθ成正比，这就是通常所说的余弦定律：(19)单位时间内碰撞在固体表面单位面积上的气体分子数目称为气体分子对表面的入射率ν(m-2s-1)，其计算式为：(20)根据平衡状态的假设，气体分子飞离固体表面时的方向分布及数量应与入射相一致，因此仍可按式(19)、(20)计算。克努曾余弦反射定律还说明，不论气体分子的入射方向怎样

其反射都服从(19)式的余弦规律。

6．如果两个相连通的真空容器温度不同，那么内部气体达到状态平衡时的参数也会有差异。在低真空条件下，即粘滞流态时，二容器的平衡条件是压力相等，二容器内气体压力、温度及分子数密度间关系为：p1 = p2 和 n1/n2 = T2/T1 (21)在高真空条件下，即分子流态时，二容器内气体达到动力平衡的条件是在连通处的入射率γ相等，从而有关系：（22）

这种由于温度不同而引起气体流动，平衡时产生压力梯度的现象，称为热流逸现象。它会给真空测量带来误差。例如某真空电阻炉热场区温度为1800K，通过细管连接的真空规管工作在300K温度下，若规管测得压强为2×10-4Pa，则可由(22)式算得炉内的真实气体压力为(22-1)

首先应该说明，本节及以后几节中所介绍的定律和公式，是针对平衡状态下的理想气体得出的。不过，常温(与室温相比)低压(相对大气压而言)下的各种气体都可以看作是近似程度相当好地理想气体，因此，我们可以放心地把这些定律和公式应用于真空工程的绝大部分计算之中。这其中包括通常所涉及到的各种气体，甚至于接近饱和的蒸汽(如水蒸汽)；也包括各类气体状态过程，甚至于明显的非平衡状态(如气体的流动过程)。

气体的压力p(Pa)、体积V(m3)、温度T(K)和质量m(kg)等状态参量间的关系，服从下述气体实验定律：

1、波义耳～马略特定律：一定质量的气体，若其温度维持不变，气体的压力和体积的乘积为常数 pV = 常数。

2、盖·吕萨克定律：一定质量的气体，若其压力维持不变，气体的体积与其绝对温度成正比 V/T = 常数 。

3、查理定律：一定质量的气体，若其体积维持不变，气体的压力与其绝对温度成正比。 p/T = 常数 。

上述三个公式习惯上称为气体三定律。

具体应用方式常为针对由一个恒值过程连结的两个气体状态，已知3个参数而求第4个参数。例如：初始压力和体积为P1、V1，的气体，经等温膨胀后体积变为V2，则由波义耳--马略特定律，可求得膨胀后的气体压力为P2 = P1V1/V2。这正是各种容积式真空泵最基本的抽气原理。

4、道尔顿定律：相互不起化学作用的混合气体的总压力等于各种气体分压力之和。 P = P1 P2 ···· Pn (4)这里所说的混合气体中某一组分气体的分压力，是指这种气体单独存在时所能产生的压力。

道尔顿定律表明了个组分气体压力的相互独立和可线性叠加的性质。

5．阿佛加德罗定律：等体积的任何种类气体，在同温度同压力下均有相同的分子数；或者说，在温度同压力下，相同分子数目的不同种类气体占据相同的体积。1mol任何气体的分子数目叫做阿佛加德罗数，NA = 6.022×1023mol-1。在标准状态下(po = 1.01325×105Pa，To = 0oC），1mol任何气体的体积称为标准摩尔体积，Vo = 2.24×10-2m3mol-1。

根据上述气体定律，可得到反映气体状态参量p、V、T、m之间定量关系的理想气体状态方程： pV = m/M(RT) (5)式中的M为气体的摩尔质量（kg/mol），R为普适气体常数，R=8.31J/（mol·K）。在已知p、V、T、m四参量中的任意三个量时，可由此式求出另外一个值。例如气体的质量m = pVM/（RT）

一定质量的气体，由一个状态（参量值为p1、V1、T1）经过任意一个热力学过程(不必是恒值过程)变成另一状态(参量值为p2、V2、T2)，根据状态方程，可得到关系式：p1V1/T1 = p2V2/T2 (6)对（5）变换，还可计算单位体积空间内的气体分子数目和气体质量，即气体分子数密度n（m-3）和气体密度p（kg/m3） n = mNA/MV = pNA/RT = p/kT (7) p = m/V = pM/RT (8) 系数k = R/NA = 1.38×1023J/K 称为波尔兹曼常数。

当真空管道两端存在有压力差时，气体就会自动地从高压处向低压处扩散，便形成了气体流动。任何真空系统都是由气源(待抽容器)、系统构件(管道阀门等)及抽气装置(真空泵)组成的，气体从气源经过系统的构件向抽气口源源不断地流动，是动态真空系统的普遍特点。

真空技术中，气体沿管道的流动状态可划分为如下几种基本形式：从大气压力下开始抽真空的初期，管道中气体压力和流速较高，气体的惯性力在流动中起主要作用，流动呈不稳定状态，流线无规则，并不时有旋涡出现，这种流动状态称为湍流(涡流，紊流)；随着流速和气压的降低，在低真空区域内，气流由湍流变成规则的层流流动，各部分具有不同速度的流动层，流线平行于管轴，气体的粘滞力在流动中起主导作用，此时气体分子的平均自由程λ仍远小于导管最小截面尺寸d，这种流态叫做粘滞流；当气体流动进入高真空范围，分子平均自由程λ远远大于管道最小尺寸d时，气体分子与管壁之间的碰撞占居主要地位，分子靠热运动自由地直线进行，只发生与管壁的碰撞和热反射而飞过管道，气体流动由各个分子的独立运动叠加而成，这种流动称作分子流；发生在中真空区域内，介于粘滞与分子流之间的流动状态叫做中间流或过渡流。

在不同的流动状态下，管道中的气体流量和导气能力计算方法不同，因此在气体流动计算时，首先要进行流态判别。由于在真空抽气过程中湍流的出现时间较短，常常不加以单独考虑，而是将其归入粘滞流态。其它流动状态的判别可用克努曾数λ/d 或管道中平均压力p与几何尺寸d的乘积pd作为判据：

粘滞流 λ/d100 pd>1Pa·m中间流 1/100<λ/d<1/3 0.03Pa·m<pd<1Pa·m (27)分子流 λ/d<1/3 pd<0.03Pa·m

为了考察管道中流过的气体数量的多少，可以使用气体的质量流率qm(kg/s)和摩尔流率qv(mol/s)，即单位时间内通过管道某一截面的气体质量和气体摩尔数。不过这两种流率不便实际测量，因此工程中广泛使用的是单位时间内流过管道指定截面的气体体积，即体积流率qv(m3/s)。在气体压力为p的截面上，qv与qm、qγ的关系为 qm = pM/RT·qv 和 qv = p/RT·qv (28)在真空泵入口处的气体体积流率又称为泵的抽气速率(简称抽速)，是真空泵的重要性能指标之一。由于在不同压力下，相同的体积流率对应有不同的质量流率，所以在计算体积流率量值时，必须指明所对应的气体压力。

为了更方便地计算流过气体的多少，工程中还定义气体的压力与其体积的乘积为气体量G(Pa·m3=J)，即G=pV；单位时间内流过指定横截面的气体量为流量qG=dG/dt(Pa·m3/s=J/s)；在任一指定截面上，气体流量、压力和抽速间的关系为 qG = p·qv (29)在稳定流动状态下，即管道各截面处的气体压力不随时间变化时，根据质量守恒原理，真空系统任一截面上的气体质量流率qm相等，若整个系统中各处温度相同，则化为流量连续方程，即各截面上的气体流量相等。 qG = p1qv1 =p2qv2 =piqvi (30)如果气体流动过程中温度有变化，例如流过冷却器后温度由T1降至T2，则对应的流量qG1/T1=qG2/T2实验说明，气体流过一段真空管道的流量qG与管道两端的压力差p1-p2成正比，即有 qG=C·(p1-p2) (31) 式中的比例系数C具有体积流率的量纲（m3/s)，它所反映的是管道允许流过气体能力的大小，定义为该段管道的流导。流导是各种真空系统元件（管道、阀们、冷阱、孔口等）的主要技术指标之一，直接反映该元件对气体流动的阻碍程度，是真空系统计算中需要首先计算的参数。元件的流导与所流过气体的流动状态有关，气体流动为粘滞流时，流导值与元件的几何结构尺寸及流过气体的平均压力有关；为分子流时，流导仅与几何结构尺寸有关。根据组成真空系统的需要，有时将几个真空元件(如管道)的入口和出口分别联接在一起，称为元件的并联，并联后元件的总流导等于各分支流导之和 C=C1 C2 … Cn (32)有时将几个元件首尾顺序联接，称为元件的串联，串联后元件的总流导的倒数等于各元件流导的倒数之和 1/C = 1/C1 1/C2 … 1/Cn (33)把一个被抽容器的出口和一台真空泵的入口，用总流导为C的真空管路联接起来，若真空泵在其入口处的抽速为S，则该真空系统在被抽容器出口处所能产生的有效抽速为S，则该真空系统在被抽容器出口处所能产生的有效抽速Se为 Se = (S·C)/(S C) (34)此式习惯上称为真空技术基本方程。从中可以看出，在被抽容器出口产生的有效抽速Se，比泵口抽速S和管路流导C都要小；若要获得较大的Se，应该合理地搭配S和C，单独增大其中的一个，不能获得理想的结果

1、玻义尔定律

体积V，压强P，P·V=常数

一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。

即P1/P2=V2/V1

2、盖·吕萨克定律

当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：

V1/V2=T1/T2=常数

当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。

3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即：

P1/P2=T1/T2

在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。

4、平均自由程：

λ=(5×10-3)/P (cm)

5、抽速：

S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P

Q=流量(托·升/秒) P=压强(托)　V=体积(升) t=时间(秒)

6、通导：

C=Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽气时间：

对于从大气压到1托抽气时间计算式：

t=8V/S (经验公式)

V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。

8、维持泵选择：

S维=S前/10

9、扩散泵抽速估算：

S=3D2 (D=直径cm）

10、罗茨泵的前级抽速：

S=(0.1~0.2)S罗 (l/s)

11、漏率：

Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)

Q漏－系统漏率(mmHg·l/s)

V－系统容积(l)

P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)

P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

t－压强从P1升到P2经过的时间(s)

12、粗抽泵的抽速选择：

S=Q1/P预 (l/s)

S=2.3V·lg(Pa/P预)/t

S－机械泵有效抽速

Q1－真空系统漏气率(托·升/秒)

P预－需要达到的预真空度(托)

V－真空系统容积(升)

t－达到P预时所需要的时间

Pa－大气压值(托）

13、前级泵抽速选择：

排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前级泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)

Pg－真空室最高工作压强(托)

S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

14、扩散泵抽速计算公式：

S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)

式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)

n－滴管内油柱上升格数(格)

t－油柱上升n格所需要的时间(秒)

P－在泵口附近测得的压强(托)

K－滴管系数(托·升/秒)

K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm) Pa△Vt

其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)

L－滴管刻度部分的长度(mm)

n－滴管刻度部分的格数(格)

Υ0－油的比重(克/厘米3)

Υm－汞的比重(克/厘米3)

Pa－当地大气压强(托)

△Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)

15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：

S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)

式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95%)。

16、O型橡胶槽深B=0.7D

D为橡胶直径，槽宽C=1.6B

17、方形橡胶槽深B=0.8A

A为方形橡胶边长，槽宽C=1.67B

本指没有任何实物粒子存在的空间，但什么都没有的空间是不存在的。而假设你把一个空间的气体都赶跑，会发现还是不时有基本粒子在真空中出现又消失，无中生有。物理上的真空实际上是一片不停波动的能量之海。当能量达到波峰，能量转化为一对对正反基本粒子，当能量达到波谷，一对对正反基本粒子又相互湮灭，转化为能量。

真空具有如下性质：

1.空非无。如果真空中没有粒子，我们就会准确的测出场(0)与场的变化曲率(0)，然而海森堡不确定性原理表明，我们不可能同时精确地测出一对共轭量，所以，可以“空”，不能“无”。因此，在真空中，粒子不停地以虚粒子、虚反粒子对的形式凭空产生，而又互相湮灭，在这个过程中，总的能量保持不变。

2.真空存在极性。因此说真空是不对称的。但这种不对称是相对局部的，在相对整体上又是对称的，如此的循环嵌套构成了真空的这个性质。

3.真空的每个局部具备了真空的全体性质。大和小是相对而言的。时间也是相对于空间而言的，时间不能脱离了具体的空间而单独的存在。

真空图实践应用

生活应用

膨化食物的真空包装，可以防止食物变质，延长食物保存时间；

真空灯泡，防止灯丝被氧化，延长使用寿命。

工业生产

工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空、中真空和低真空，地球以及星球中间的广大太空就是真空。一般是用特制的抽气机得到真空的。它的气体稀薄程度用真空计测定，我们已能用分子抽气机和扩散抽气机得到0.00000 00001大气压的高真空。真空在科学技术，电真空仪器，电子管和其他电子仪器方面，都有很大用

正负电子对撞机的作用绝不仅仅是一对正负电子相撞产生光子和能量那么简单，一对光子也可以相撞产生一对正负质子之类，而相撞使相撞所处的那部分真空可以激发到高能态，可以产生更多各式各样的基本粒子，为研究宇宙的起源和组成服务。

真空图科研应用

航天器轨道飞行提供的真空和微重力环境，是一个宝库，为人们提供了地面上难以获得的科学实验和生产工艺条件，进行地面上难以进行的科学实验，生产地面上难以生产的材料、工业产品和药物。

在高真空和微重力环境中进行生命和生物科学实验，不会有有机物污染，发生混入或测定错误，细菌等实验用的微生物不会到处扩散，十分安全。 在零重力或微重力条件下，可进行无容器冶炼，这不会有任何杂质混入，可以获得高品质的合金；可将不同比重的金属或非金属均匀地混合，获得新型合金材料；可以克服地面加工存在的组分过冷起伏和密度大等缺陷，生长出高质量、大直径的单晶体砷化镓等半导体材料；可以生产百分之百圆度的滚珠轴承等圆球工业产品，而在地面上，由于重力的影响，滚珠轴承等总不是真正的球形。

太空制药是真空和微重力环境利用的重要方面。在地面上制药，由于地球重力作用，培养物会发生沉淀，处在沉淀中的微生物会因缺氧而死亡；如输氧搅拌，所形成的低压小气泡又会破坏细胞；如加防泡剂，则会降低氧的溶解度，有碍微生物的繁殖，形成恶性循环。而在微重力环境中，培养物液体中含有大量的气泡，也不会沉淀，微生物可随时获得氧气，生长速度比地面快一倍以上。可高效率、高纯度地制造许多药物，如治疗烧伤的表皮生长素、治疗贫血的红血球生长素、防治病毒感染的免疫血清、治疗肺气肿的胰蛋白酶抑制素、治疗血栓的尿激酶、治疗血友病的抗溶血因子8.治疗糖尿病的β细胞、治疗癌症的干扰素等40多种。主要的制药方法是电泳法，将组分不同的混合物在直流电场作用下精确地分离成不同成份。其设备第一代为静态电泳仪，第二代为连续流动电泳仪。

系统

真空系统结构材料是构成真空系统主体的材料，它将真空系统与大气隔开，承受着大气压力。这类材料主要是各种金属和非金属材料，包括可拆卸连接处的密封垫圈材料。

冷阱，也总会或多或少地有一部分油蒸气返流进入高真空端。它们在扩散泵口建立的压力，有时比在泵壁温度下的饱和油蒸气压还要高很多。这不但影响真空系统的极限压力，而且还对被抽容器造成污染，因而返油率是扩散泵系统的主要考核指标。

真空包装真空包装将食品装入包装袋，抽出包装袋内的空气，达到预定真空度后，完成封口工序。 真空充气包装将食品装入包装袋，抽出包装袋内的空气达到预定真空度后，再充入氮气或其它混合气体，然后完成封口工序。

真空包装的主要作用是除氧，以有利于防止食品变质，其原理也比较简单，因食品霉腐变质主要由微生物的活动造成，而大多数微生物（如霉菌和酵母菌）的生存是需要氧气的，而真空包装就是运用这个原理，把包装袋内和食品细胞内的氧气抽掉，使微生物失去生存的环境。

测量

真空测量的传感器, 大部分都是用电离规， 并且在中程真空范围用途最广泛。常用的电离真空规测量仪, 都采用模拟电路控制发射电流， 并把它当成固定数来运算, 这样会产生一些不足之处， 例如：由于外界干扰或元器件老化造成电流有偏差; 或控制环中的漂移产生不稳定, 由此而导致测量误差较大。为消除此类不良现象， 我们应用现代控制理论—PID和Fuzzy控制, 采用数字电路控制发射电流， 控制环中都用16位的高分辨率A/D和D/A,且把发射电流测量值参入运算， 允许发射电流有一定的变化范围。这样既提高了测量精度, 又在它们的线性区域内扩充量程。

基础标准

GB 4982～4983-85 真空快卸法兰；

GB 4982-85 夹紧型真空快卸法兰；

GB 4983-85 拧紧型真空快卸法兰；

GB 6071.1～6071.3-85 超高真空法兰；

GB 6071.1-85 超高真空法兰结构型式；

GB 6071.2-85 超高真空法兰尺寸；

GB 6071.3-85 超高真空法兰用铜密封垫；

GB/T 3163-93 真空技术术语；

GB/T 3164-93 真空技术系统用图形符号；

GB/T 6070-1995 真空法兰；

GB/T 16709-1996 真空技术管路配件 装配尺寸；

JB 1090～1092-91 真空动密封型式及尺寸；

JB 1090-91 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸；

JB 1091-91 JO型骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸；

JB 1092-91 O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸；

JB 5278.1～5278.3-91 铜丝密封可烘烤真空法兰；

JB 5278.1-91 铜丝密封可烘烤真空法兰 连接型式；

JB 5278.2-91 铜丝密封可烘烤真空法兰 法兰结构尺寸；

JB 5278.3-91 铜丝密封可烘烤真空法兰铜丝密封圈结构尺寸；

JB/T 7673-95 真空设备型号编制方法；

JB/T 8105.1～8105.2-1999 真空规管接头；

JB/T 8105.1-1999 橡胶密封真空规管接头；

JB/T 8105.2-1999 金属密封真空规管接头。2100433B

真空图基本概念

按其词源原本是指虚空，即一无所有的空间。工业和真空科学上的真空指的是，当容器中的压力低于大气压力时,把低于大气压力的部分叫做真空，而容器内的压力叫绝对压力；另一种说法是,凡压力比大气压力低的容器里的空间都称做真空。工业真空有程度上的区别：当容器内没有压力即绝对压力等于零时，叫做完全真空;其余叫做不完全真空。而狭义相对论等狄拉克之前的物理理论中的真空则特指不存在任何物质的空间状态，对应于工业里的完全真空。按现代物理量子场论的观点，真空不空，其中包含着极为丰富的物理内容。狭义相对论等理论中的真空只是普朗克常数趋于0时的近似情形。

真空图真空科学

远在1643年，意大利物理学家托里拆利发现，真空和自然空间有大气和大气压力存在。他将一根一端封闭的长玻璃管灌满汞，并倒立于汞槽中时，发现管中汞面下降，直至与管外的汞面相差76厘米时为止。托里拆利认为，玻璃管汞面上的空间是真空，76厘米高的汞柱是因为存在大气压力的缘故。

1650年，德国的盖利克制成活塞真空泵。

1654年，他在马德堡进行了著名的马德堡半球试验：用真空泵将两个合在一起的、直径为14英寸(35.5厘米)的铜半球抽成真空，然后用两组各八匹马以相反方向拉拽铜球，始终未能将两半球分开。这个著名的试验又一次证明，空间有大气存在，且大气有巨大的压力。为了纪念托里拆利在科学上的重大发现和贡献，以往习用的真空压力单位就是用他的名字命名的。

19世纪中后期，英国工业革命的成功，促进了生产力和科学实验发展，同时也推动了真空技术的发展。

1850年和1865年，先后发明了汞柱真空泵和汞滴真空泵，从而研制成了白炽灯泡(1879)、阴极射线管(1879)、杜瓦瓶(1893)和压缩式真空计(1874)。压缩式真空计的应用首次使低压力的测量成为可能。

20世纪初，真空电子管出现，促使真空技术向高真空发展。

1935～1937年发明了气镇真空泵、油扩散泵和冷阴极电离计。这些成果和1906年制成的皮拉尼真空计至今仍为大多数真空系统所常用。

1940年以后，真空应用扩大到核研究(回旋加速器和同位素分离等)、真空冶金、真空镀膜和冷冻干燥等方面，真空技术开始成为一个独立的学科。第二次世界大战期间，原子物理试验的需要和通信对高质量电真空器件的需要，又进一步促进了真空技术的发展。

基本原理

真空是物理学里面的一个概念，最开始反映的是空无一物的状态，类似于“无”。20世纪P.A.M.狄拉克提出了所谓量子真空的概念，即真空并不是空无一物而是时刻有虚粒子与实物粒子转化的，但整体是对外不显物理属性的宏观总体。真空是能量海，是一个不断振荡的充满着巨大能量的客观存在；而空间只是数学上的一个概念，是反映的是运动的属性和几何大小的概念。也就是说，空间和真空一个是数学概念一个是物理概念，二者没有丝毫的包含关系。真空的属性的确需要使用空间来描述，但那只是种数学表示，是为了方便研究才引入的参量，并不是说真空的性质取决于空间。

真空图认识过程

人类关于真空的认识经历了几次根本的变革和反复。古希腊德谟克利特的原子论认为所有的物质都是由原子组成，原子之外就是虚空。17世纪R.笛卡儿提出以太漩涡说，认为空间充满了以太，并用以说明行星的运动。不久I.牛顿建立以运动三定律和万有引力定律为基石的牛顿力学，成功地解决了行星绕日运动问题，引力被认为是超距作用的，无需以太阳作为传递媒介，从而否定了以太论。19世纪发现光的波动性，认为波的传播必须依靠介质，特别是后来发现了电磁场的波动性，以太论再度兴起，认为宇宙中不论何时何地，任何物体内无不充满了以太，光和电磁波被解释为以太的机械振动。后来虽然在观念上有所变化，把光和电磁波看成电磁场的振动，但以太仍然保留着某种绝对的性质，它可以看成是描述万物运动的绝对静止的参考系。19世纪末20世纪初各种试图探测地球相对于以太运动速度的实验均告失败，A.爱因斯坦建立狭义相对论，再次否定了这种作为绝对静止以太的存在。稍后，爱因斯坦在用场论观点研究引力现象时，已经认识到空无一物的真空观念是有问题的，他曾提出真空是引力场的某种特殊状态的想法。

真空断路器

首先给予真空崭新物理内容的是P.A.M.狄拉克。狄拉克于1930年为了摆脱狄拉克方程负能解的困境，提出真空是充满了负能态的电子海。当负能态的电子吸收了足够的能量跃迁到正能态成为普通电子时，电子海中才能留下可观测的空穴，即正电子。从体系的能量角度考查，这种情况比只有电子海的真空状态要高，因此真空就是能量最低的状态。从现代量子场论的观点看，每一种粒子对应于一种量子场，粒子就是对应的场量子化的场量子。当空间存在某种粒子时，表明那种量子场处于激发态；反之不存在粒子时，就意味着场处于基态。因此，真空是没有任何场量子被激发的状态，或者说真空是量子场系统的基态。

关于真空的近代认识不再是哲学上的思辨，而是可通过实验来检验的。有不少现象都需要用真空的近代观念予以说明。例如氢原子能级的兰姆移位和电子的反常磁矩，实验上已经以非常高的精度证实了真空极化的效应；高能正负电子对撞湮没为高能光子，反之高能光子可使真空激发出大量的粒子，也是很好的明证。对于真空的认识尚属初级探索阶段，物理学家还在探索真空自发破缺和真空相变等问题，必将推动物理学的进一步发展。

真空图含义特点

在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。这种特定的真空状态与人类赖以生存的大气在状态相比较，主要有如下几个基本特点：（ 1 ）真空状态下的气体压力低于一个大气压，因此，处于地球表面上的各种真空容器中，必将受到大气压力的作用，其压强差的大小由容器内外的压差值而定。由于作用在地球表面上的一个大气压约为 101325N/m^2，因此当容器内压力很小时，则容器所承受的大气压力可达到一个大气压。

（ 2 ）真空状态下由于气体稀薄，单位体积内的气体分子数，即气体的分子密度小于大气压力的气体分子密度。因此，分子之间、分子与其他质点（如电子、离子等）之间以及分子与各种表面（如器壁）之间相互碰撞次数相对减少，使气体的分子自由程增大。

真空图技术概括

vacuum technique使气体压强低于地面大气压强的技术。

真空是指压强远小于101.325千帕（kPa）（即1大气压）的稀薄气体空间。在真空技术中除国际单位制的压强单位Pa外，常以托（Torr）作为真空度的单位。1托等于1毫米高的汞柱所产生的压强，即1Torr=133.3224Pa。

按气体压强大小的不同，通常把真空范围划分为：低真空1×105 ～1×102Pa，中真空1×102~1×10-1Pa，高真空1×10-1～1×10-5Pa，超高真空1×10-5～1×10-9 Pa，极高真空1×10-9Pa以下。

真空技术包括真空的获得、测量和应用。

活塞泵、旋片泵等通过活塞或旋片的不断运动，改变泵体的体积，把气体排放出去，获得真空。扩散泵用高速运动的气流，把扩散到泵体的气体分子带走。此外还有利用低温表面来冷凝或冻结气体的低温泵，如液氦冷凝泵；利用吸气材料如活性炭等吸气作用的吸附泵，等等。

测量真空度即测量稀薄气体压强的量具叫做真空规或真空计。可分为绝对真空计和相对真空计两类。前者通过本身测出的物理量直接求出气压的大小，如U形管、薄膜计、麦克劳真空计（利用玻意耳定律），热偶真空计等；后者必须经过绝对真空计的校正才能测定气压，如电离真空计、皮拉尼真空计、阻尼真空计等。

利用真空与地面大气的压强差，可以输运流体、吸尘等。利用真空中气体分子密度小的特征，可以制造各种电真空器件如电光源、电子管等。真空环境有利于某些金属的焊接、熔炼，某些低熔点金属如Mg、Li、Zn等的分馏、纯化，以及某些活性金属如Ca、Li、Cs等的氧化物还原，真空环境(1～10-1Pa)下的低温脱水，真空干燥已成功地用于浓缩食品、奶粉，制造血浆等。同位素分离，大规模集成电路的加工，镀膜等也都需要在真空环境下进行。在科学研究中，例如表面物理实验，各种加速器、聚变反应和空间环境模拟等都离不开真空。