选择特殊符号

选择搜索类型

热门搜索

首页 > 百科 > 建设工程百科

中频交流脉冲磁控溅射电源原理及其作用

中频交流脉冲磁控溅射电源原理及其作用

 中频交流脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,双极性脉冲输出,正反脉冲宽度互补调节,中频建设电源以连个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,通过调整AB靶的比例脉宽来控制不同的溅射速率,从而控制两种不同材质靶材的溅射比例,用于制作两种或两种材料以上的金属或反映膜层。电源的输出特性可根据使用需要作相应调整。

查看详情

中频交流脉冲磁控溅射电源造价信息

  • 市场价
  • 信息价
  • 询价

射电源

  • PS002,12VDC2A,带
  • 博世
  • 13%
  • 广州市澳星电子有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

射电源

  • IF-PS002,12VDC2A,带
  • IFCS
  • 13%
  • 广州市澳星电子有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

射电源

  • PS001,12VDC2A,不带
  • 博世
  • 13%
  • 广州市澳星电子有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

射电源

  • IF-PS001,12VDC2A,不带
  • IFCS
  • 13%
  • 广州市澳星电子有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

十二脉冲UPS电源

  • 品种:UPS不间断电源;型号:UTT400KL-12B;说明:单隔离12脉冲整流,压DC384V;规格:输入压380VAC,输出:3
  • 傲事特
  • 13%
  • 贵州傲视科技发展有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

交流稳压电源

  • JH1741/05
  • 台班
  • 韶关市2010年7月信息价
  • 建筑工程
查看价格

辅助电源

  • AFN-FD20A
  • 江门市2011年11月信息价
  • 建筑工程
查看价格

辅助电源

  • AFN-FD10A
  • 江门市2011年10月信息价
  • 建筑工程
查看价格

辅助电源

  • AFN-FD20A
  • 江门市2011年8月信息价
  • 建筑工程
查看价格

辅助电源

  • AFN-FD10A
  • 江门市2011年6月信息价
  • 建筑工程
查看价格

射电源

  • IF-PS001,12VDC2A,不带
  • 6个
  • 1
  • IFCS
  • 中档
  • 含税费 | 不含运费
  • 2015-08-17
查看价格

射电源

  • IF-PS001,12VDC2A,不带
  • 2台
  • 1
  • IFCS
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2015-10-08
查看价格

射电源

  • PS002,12VDC2A,带
  • 2个
  • 1
  • 博世
  • 高档
  • 含税费 | 不含运费
  • 2015-06-11
查看价格

射电源

  • IF-PS002,12VDC2A,带
  • 1台
  • 1
  • IFCS
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2015-10-13
查看价格

射电源

  • PS001,12VDC2A,不带
  • 10台
  • 1
  • 博世
  • 高档
  • 含税费 | 含运费
  • 2015-10-13
查看价格

中频交流脉冲磁控溅射电源技术说明

电源功率范围

10--80KW

输入电源

AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10%

输出方式

双极性脉冲

脉冲宽度

10-901%互补调整

输出频率

1-25KHZ

输出电压

空载1000V[正向或反向峰值]

灭弧时间

≤3uS

输出功率稳定性

1%

冷却方式

2-10风冷 10-80KW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度 ≤85%

空气清洁 无粉尘 雾腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其它可溶性物质

水温20-30℃

压力0.15±0.05Mpa

查看详情

中频交流脉冲磁控溅射电源原理及其作用常见问题

查看详情

中频交流脉冲磁控溅射电源原理及其作用文献

交流着色电源交直流着色电源 交流着色电源交直流着色电源

交流着色电源交直流着色电源

格式:pdf

大小:899KB

页数: 3页

电解着色整流器系列 广东顺德天骐环保科技有限公司 —专业铸造品质,服务验证品牌— 产品介绍: 第一代着色电源: ACF 交流着色电源。 第二代着色电源:( AC+DC ) F交直流着色电源。 第三代着色电源:( AC+DC ) F-ZS3带活化极的交直流着色电源。 ※可根据客户要求定制※ 产品用途 适用于铝型材正弦波电解着色,单镍盐、混盐、单锡盐等工艺要求 天骐着色电源技术参数: 输入电压 三相 AC380V ±10%,50~60HZ 输出电压 0~18V、21V、25V 输出电流 0~20000A 稳压精度 1% 稳流精度 1% 操作环境 -10~40℃ 存放温度 -20~50℃ 冷却系统 风冷 /油冷 运行状况 满负荷 24 小时运行 负荷类型 Ⅱ级 交流着色电源产品图展示 电解着色整流器系列 广东顺德天骐环保科技有限公司 —专业铸造品质,服务验证品牌— 产品特点: ·采用输出三极设计

交流电源 交流电源

交流电源

格式:pdf

大小:899KB

页数: 18页

交流电源

直流磁控溅射电源工作原理

直流磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负

载特性,性价比高,适用于金属及反应膜层环境使用。

查看详情

脉冲电镀脉冲电源

晶体管开关电源即脉冲电源阶段脉冲电镀电源是当今最为先进的电镀电源,它的出现是电镀电源的一次革命。这种电源具有体积小、效率高、性能优越、纹波系数稳定.而且不易受输出电流影响等特点。脉冲电镀电源是发展的方向,现已开始在企业中使用。

脉冲电源分为数字脉冲电源和模拟脉冲电源。所谓数字脉冲电源,是采用微处理器及数字电路对脉冲电源中的直流斩波进行控制,并实现数字显示与数字调节的电源。它是当今最为先进的电镀电源.由于与计算机技术相结合,使其控制更加方便和灵活。目前是电镀电源发展的方向。数字脉冲电源的原理示意图如图2所示。

与传统的模拟脉冲电源相比.数字脉冲电源具有如下优点:

(1) 驱动波形规整,极大地改善了斩波后的输出波形,对提高电镀质量十分有利;

(2) 采用数字调控,直观简单;

(3) 波形调节范围宽,调节步进可以至0.1 ms;

(4) 温度漂移系数小,能长期稳定连续运行。

在目前的应用中.普遍采用大功率开关管IGBT对直流电源进行斩波,达到脉冲输出的目的。数字控制器发出的方波驱动信号控制IGBT的通断。改变数字控制器的信号,可以实现对输出脉宽及频率的可调。

数字脉冲电镀实质上是一种通、断直流电镀。所不同的是数字脉冲电镀有三个独立的参数(脉冲平均电流密度I、导通时间及关断时间BED Equation.DSMT4)可调;而一般直流电镀只有一个参数(电流或电压)可调。因此,采用数字脉冲电镀就为槽外控制镀层提供了有力的手段。大量的实践证实,数字脉冲电镀是一项既能提高镀层质量,又能提高沉积速率的经济效益很高的电镀新技术。

频率越低,峰值电流越大,即在脉冲宽度的时间内.就会使靠近阴极处的金属离子急剧减少。由于在较短的时间内,基质金属的沉积速度较快,输送到阴极并嵌入镀层中的速度赶不上基质金属的沉积速度。因此,为了提高镀层质量和效率,可以根据不同的镀层金属溶液,对脉冲电源的频率和脉宽进行适当调整。实现对峰值电流的改变。

国内外电镀工作者大量的实践证实,数字脉冲电镀是一项既能提高镀层质量,又能提高沉积速率的电镀新技术。智能化脉冲电源是改善电镀工艺的较好途径。只要根据不同的镀层金属溶液要求,设置相应的参数如脉宽、频率、温度等,智能化脉冲电源就能自动完成对工件的电镀加工 。

脉冲电镀能改善镀层均匀度。贵金属电镀时常常有最低厚度要求或抗蚀力指标。这时,镀层均匀度好,达到相同的最低厚度时要镀的平均厚度就小,就可以节约贵金属。同样,由于脉冲电镀可以改善镀层均匀度、降低镀层孔隙率。这样,达到同样的抗蚀力指标时要镀的平均厚度就小,也可以节约贵金属。由于贵金属价值高,节约贵金属得到的效益就能抵消购买昂贵的脉冲电源的费用,甚至还有效益。贵金属电镀时用的电源也比较小,价格更容易为人们接受,就更有利于推广。反过来,这又促进了贵金属脉冲电镀的研究。相反,镀锌用脉冲电源,设备投资何时能收回就很成问题。

所以,脉冲电镀在镀贵金属时使用得多。 

查看详情

中频交流电简介

中频交流电是指大小和方向都发生周期性变化的电流,因为周期电流在一个周期内的运行平均值为零,称为交变电流或简称交流电。不同于方向不随时间发生改变的直流电。  通常波形为正弦曲线。交流电可以有效传输电力。但实际上还有应用其他的波形,例如三角形波、正方形波。生活中使用的市电就是具有正弦波形的交流电。

查看详情

相关推荐

立即注册
免费服务热线: 400-888-9639