压差法具有很多优点，其中最主要的一个优点是它对于测试气体没有选择性，而且传感器也并非损耗型，不存在使用时间和使用量的限制。因此对于压差法设备来讲，留意操纵细节是进行设备维护的重点。首先，避免有异物进进测试下腔，由于测试下腔与真空泵是直接相连的，所以假如下腔中存在异物则会被抽进真空泵内，对真空泵造成损坏。其次，真空泵油应使用厂家提供的真空泵专用油，在使用时真空泵内的油量应控制在规定的范围内，并留意油质的变化。第三，对于早期的压差法设备，有些真空测压计是含有水银成分的装置，这时需要特别留意水银的存放安全。

等压法设备主要采用氧传感器进行材料的透氧性检测，而采用的氧传感器是损耗型的，其中的有效探测成分会随着测试时间的延长而逐步损耗，而将其暴露在高浓度的氧气或空气中会很快被消耗而无法再继续使用。更换氧传感器本钱昂贵，因此维护等压法设备最重要的一点是保护氧传感器隔尽外界气体以延长其使用寿命。首先要确保试样装夹完好，避免泄漏。其次在试验过程中要先对测试系统进行吹扫，直到其中的氧含量降到极低的状态后再进进渗透过程，同时若试样的透氧量较大也需要采取措施防止氧传感器内的氧含量持续偏高以减少氧传感器的损耗。再次，在试验结束后必须将氧传感器内气体的氧含量降到最低，若仪器近期还要做试验，可先用大流量载气对测试腔进行吹扫然后再把载气流速调小并持续吹扫系统以防止外界氧气的渗透;若近期不使用设备只有在确认气流的氧含量足够少时(如系统被高纯氮气吹扫2小时以上)，才可封闭氧传感器保护阀然后封闭钢瓶输出阀停止供气。然而由于传感器的损耗直接影响测试数据的正确性，所以等压法设备必须定期标定。

还需特别留意的一点是，等压法设备无论是在测试过程中还是在试验结束之后总需要用大量载气吹扫测试系统，因此试验尾气排放量相当大，所以必须留意对尾气的处理。应该使用导气管连接仪器的尾气出气口并将尾气引到室外，同时应留意室内的空气循环，保持空气清新。

第三，现在的等压法设备普遍具有对测试气体温湿度的控制功能，对测试气体控湿不可避免地要在气路中增加湿度发生物质，而在气路中长时间存有湿气不利于设备维护，因此在加湿试验结束之后需要将湿度增加装置中的湿度发生物质清除干净并用干燥氮气吹净系统中的湿气。