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干化刻蚀机主要功能

干化刻蚀机主要功能

主要工艺参数指标:2英寸GaAs,InP, Al2O3刻蚀均一性小于±3%,批次间重复性好于±3%;GaAs刻蚀速率大于1000nm/min, InP刻蚀速率大于1000nm/min, Al2O3刻蚀速率大于50nm/min。系统配置终点监测系统670nm激光干涉仪,可用于实时测量刻蚀深度。

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干化刻蚀机造价信息

  • 市场价
  • 信息价
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主干电源线

  • 型号:RVV;标称截面(mm2):2.5;芯数:3;规格型号:RVV-3×2.5;
  • m
  • 一舟
  • 13%
  • 北京中电一舟科技有限公司
  • 2022-12-07
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RVB主干音箱线

  • RVB 2×2.0/400支
  • m
  • 天诚
  • 13%
  • 广州市宇骅智能科技有限公司
  • 2022-12-07
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主干电源线

  • RVV 3×1.5
  • m
  • 13%
  • 成都三电国际线缆有限公司
  • 2022-12-07
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主干电源线

  • RVV3*2.5mm
  • m
  • 帝华
  • 13%
  • 深圳市安之源电子有限公司南宁办事处
  • 2022-12-07
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主干电源线

  • BVR 4M2
  • m
  • 金龙羽
  • 13%
  • 惠州市金龙羽电缆实业发展有限公司
  • 2022-12-07
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工程钻机主机

  • GJD15A
  • 深圳市2005年9月信息价
  • 建筑工程
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工程钻机主机

  • GJD15A
  • 深圳市2005年1月信息价
  • 建筑工程
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工程钻机主机

  • GJD15A
  • 深圳市2005年1月信息价
  • 建筑工程
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混凝土路面

  • 刻槽
  • 台班
  • 韶关市2010年8月信息价
  • 建筑工程
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磨砖

  • 磨砖功率4kW
  • 台班
  • 汕头市2012年4季度信息价
  • 建筑工程
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楼层过道主要功能场地指引牌

  • (1)规格:450×2850×150mm(2)1.0mm镀锌板激光切割冲压焊接烤漆,内容镂空内置LED亚克力发光
  • 1套
  • 3
  • 中高档
  • 含税费 | 含运费
  • 2022-09-21
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空调机主

  • AHU-1617
  • 1套
  • 1
  • 天加
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2022-10-10
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空调机主

  • AHU-1601
  • 1套
  • 1
  • 天加
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2022-10-10
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空调机主

  • AHU-1642
  • 1套
  • 1
  • 天加
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2022-10-10
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空调机主

  • AHU-1621
  • 1套
  • 1
  • 天加
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2022-10-10
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干化刻蚀机技术指标

300W,13.56MHz射频源;3kW,13.56MHz ICP源。系统可以刻蚀SiO2、SiNX、Al2O3、Nb、GaAs、InP、GaAlAs及InAs等薄膜材料。直径下电极,腔室大小满足4英寸及以下尺寸样品。工艺腔室真空度优于3x10-6 Torr。工艺腔室设有观察窗,具有腔壁自动加热功能,腔壁温度可维持在80℃左右;下电极配置冷水机,控温精度达到±0.5℃。系统配置有12路工艺气体的外置气体盒,满足目前工艺应用需求。

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干化刻蚀机主要功能常见问题

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干化刻蚀机主要功能文献

道闸主要功能 道闸主要功能

道闸主要功能

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大小:11KB

页数: 1页

道闸 主要功能: 功能一,手动按钮可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、无线遥控可作 ‘升’‘降’‘停’及对手动按钮的 ‘加锁’‘解锁 ’操作 ; 功能二,停电自动解锁,停电后可手动抬杆 ; 功能三,具有便于维护与调试的 ‘自检模式 ’; 道闸 道闸又称挡车器,最初从国外引进,英文名叫 Barrier Gate ,是专门用于道路上限 制机动车行驶的通道出入口管理设备 ,现广泛应用于公路收费站、 停车场系统 管理车 辆通道,用于管理车辆的出入。电动道闸可单独通过无线遥控实现起落杆,也可以通过 停车场管理系统 (即 IC 刷卡管理系统)实行自动管理状态,入场取卡放行车辆,出场 时,收取 停车费 后自动放行车辆。

干法刻蚀工艺总结 干法刻蚀工艺总结

干法刻蚀工艺总结

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大小:11KB

页数: 13页

干法刻蚀工艺总结 离子束刻蚀机( IBE-150A) 背景 : 利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子, 氩离子经过阳极电场的加速对样品表面 进行物理轰击, 以达到刻蚀的作用。 把 Ar、Kr 或 Xe之类惰性气体充入离子源放 电室并使其电离形成等离子体, 然后由栅极将离子呈束状引出并加速, 具有一定 能量的离子束进入工作室, 射向固体表面撞击固体表面原子, 使材料原子发生溅 射,达到刻蚀目的,属纯物理过程。 技术指标: 装片:一片六英寸衬底、或 1片四英寸,向下兼容。 抽气速度: 30min由 ATM 到 1.0×10-3Pa 极限真空度: 2×10-4Pa 离子能量: 300eV-400eV ICP 刻蚀机( OXFORD ICP 180) 背景 : 通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电将其分解, 产生的具有强化学活性 的等离子体在电场的加速作用下移动到样品表面, 对样品表面既进行化学

等离子刻蚀机湿法刻蚀相对于等离子刻蚀的缺点

1. 硅片水平运行,机片高(等离子刻蚀去PSG槽式浸泡甩干,硅片受冲击小);

2. 下料吸笔易污染硅片(等离子刻蚀去PSG后甩干);

3. 传动滚抽易变形(PVDF,PP材质且水平放置易变形);

4. 成本高(化学品刻蚀代替等离子刻蚀成本增加)。

此外,有些等离子刻蚀机,如SCE等离子刻蚀机还具备"绿色"优势:无氟氯化碳和污水、操作和环境安全、排除有毒和腐蚀性的液体。SCE等离子刻蚀机支持以下四种平面等离子体处理模式:

直接模式--基片可以直接放置在电极托架或是底座托架上,以获得最大的平面刻蚀效果。

定向模式--需要非等向性刻蚀(anisotropic etching)的基片可以放置在特制的平面托架上。

下游模式--基片可以放置在不带电托架上,以便取得微小的等离子体效果。

定制模式--当平面刻蚀配置不过理想时,特制的电极配置可以提供。

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ICP刻蚀机技术指标

TCP刻蚀机的刻蚀分辨率:100nm;基片尺寸:2英寸、4英寸。

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污泥干化池干化池

污泥干化池传统干化池

传统污泥干化池存在的问题主要表现在:

1、干化池滤料过厚时易造成阻塞,漂浮物(油)浮在最上层,水在中间,污泥在最下层,由于漂浮物(油)隔断了水与空气的接触面而无法自然蒸发和过滤,当滤料层过薄时,又起不到过滤的目的,从而使污泥干化效果不理想。

2、当干化医疗污水产生的有机污泥时,需要3个月左右的时间,而且每次清理污泥时都会带走大量的滤料,并受气候变化的影响较大。而对含浮油污水产生的无机污泥,则需要半年左右的时间,还会造成油污带来的火险隐患。

3、传统污泥干化池清理污泥费时、费力,而且,对含浮油的污泥因没有将油污分离开,还会造成固体废弃物对环境产生新的污染。

污泥干化池新型干化池

新型污泥干化池与一般干化池的区别在于:新型污泥干化池采用直立穿孔PVC管外包尼龙网,有效防止了污泥堵塞滤料间隙,延长了滤料更换时间,降低了使用成本,提高了污泥处理效果,且运行管理方便。

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