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硅片局部平整度非接触式标准测试方法

《硅片局部平整度非接触式标准测试方法(GB/T 19922-2005)》修改采用ASTM F 1530—94《自动无接触扫描测试硅片厚度、平整度及厚度变化的标准检测方法》。本标准与ASTMF 1530—94相比,仅提供了其有关局部平整度测量的内容,并在硅片尺寸及厚度上与其有所差异。相关术语及测试方法的精密度采用国家标准的规定。本标准的附录A为资料性附录。本标准由中国有色金属工业协会提出。

硅片局部平整度非接触式标准测试方法基本信息

硅片局部平整度非接触式标准测试方法简介

《硅片局部平整度非接触式标准测试方法(GB/T 19922-2005)》由全国有色金属标准化技术委员会归口。本标准起草单位:洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准试验验证单位:北京有色金属研究总院。本标准主要起草人:史舸、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼。本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。本标准为首次发布。2100433B

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硅片局部平整度非接触式标准测试方法造价信息

  • 市场价
  • 信息价
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路面平整度测试

  • 八轮(YLY)
  • 13%
  • 大连弗朗电子科技发展有限公司
  • 2022-12-07
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路面平整度测试

  • 八轮(YLY)
  • 13%
  • 北京世纪诚达试验仪器(集团)制造有限公司
  • 2022-12-07
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连续平整度

  • 型号:LXBP-5;
  • 伟权
  • 13%
  • 长春市伟权仪器设备有限公司
  • 2022-12-07
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多联机室内机(标准静压风管)

  • MDV-D28T2/N1-C3,制冷/热量:2.8/3.2kW,L=485m3/h(高档) ,N=68W,单相,220V,50Hz,制冷空气入口温度:Tdb=27℃ Twb=19℃,制热空气入口温度:Tdb=20℃ Twb=15℃,机体尺寸:700X450X210(h),噪音:≤32dB(A)
  • 美的
  • 13%
  • 广西凯梵特机电设备有限公司
  • 2022-12-07
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多联机室内机(标准静压风管)

  • MDV-D71T2/N1-C3制冷/热量:7.1/8.0kW,风量:1000m3/h,H=30Pa额定功率:105W,电源:单相,220V,50HZ.制冷空气入口温度:Tdb=27℃ Twb=19℃ 制热:Tdb=20℃ Twb=15℃机体尺寸:1140X450X210(h),噪音:≤35dB(A)
  • 美的
  • 13%
  • 广西凯梵特机电设备有限公司
  • 2022-12-07
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塔式起重机

  • QTZ200 臂长65m、安装高度为标准高度
  • 台·月
  • 深圳市2022年11月信息价
  • 建筑工程
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塔式起重机

  • TC6513-8E 臂长65m、安装高度为标准高度
  • 台·月
  • 深圳市2022年11月信息价
  • 建筑工程
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塔式起重机

  • TC7530-20 臂长75m、安装高度为标准高度
  • 台·月
  • 深圳市2022年11月信息价
  • 建筑工程
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塔式起重机

  • TC8039-25 臂长80m、安装高度为标准高度
  • 台·月
  • 深圳市2022年11月信息价
  • 建筑工程
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塔式起重机

  • QTZ80 臂长60m、安装高度为标准高度
  • 台·月
  • 深圳市2022年10月信息价
  • 建筑工程
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接触式IC卡

  • 接触式IC卡
  • 500个
  • 1
  • 详见截图
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2020-12-09
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路面平整度测试

  • 八轮(YLY)
  • 2台
  • 1
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2015-03-31
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路面平整度直尺

  • (3)米 WZ-2
  • 5026台
  • 1
  • 金恒
  • 普通
  • 不含税费 | 含运费
  • 2015-07-08
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颠簸累积平整度仪-巴普勒斯平整度

  • BIPRES
  • 9台
  • 1
  • 中档
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2015-10-10
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路面平整度测仪

  • WS-55
  • 5台
  • 1
  • 金恒
  • 普通
  • 不含税费 | 含运费
  • 2015-06-16
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硅片局部平整度非接触式标准测试方法常见问题

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硅片局部平整度非接触式标准测试方法文献

路面平整度的激光非接触式测量方法 路面平整度的激光非接触式测量方法

路面平整度的激光非接触式测量方法

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大小:100KB

页数: 3页

路面平整度的激光非接触式测量方法——本文提出了一种使用激光测量路面平整度的方法,测量精度可达0.2mm,测量范围为± 170 mm ,设计速度为144 km/h。在实验室条件下对此测量方法的线性作了试验。

铝熔盐电解过程阳极电流非接触式测试方法 铝熔盐电解过程阳极电流非接触式测试方法

铝熔盐电解过程阳极电流非接触式测试方法

格式:pdf

大小:100KB

页数: 未知

针对铝电解槽电磁场的基本原理,提出一种阳极电流非接触式测试方法即多传感器测试方法。该方法是在每个阳极导杆附近,布置多个测试磁场的传感器,通过调节传感器的组合方式,得到测试点准确的磁场,进而反推得到各阳极导杆的电流分布。建立了铝电解槽的骨架模型,对多传感器测试方法进行验证并优化。结果表明:采用3个传感器的布置方案,阳极电流的测试误差减小,误差分布范围为0.35%~0.90%;在传感器1、2的间距为13 mm,传感器1、4的间距为5 mm的特定布置方案中,阳极电流的测试误差达到最小值,平均误差不超过?0.3%;并且该方法具有安装简单、操作方便、精度高以及可实现在线连续测量等特点。

硅片表面平整度测量仪主要功能

测量硅片表面几何参数,以及电阻率型号等厚度可测中心点,可测全表面2000余点,出最大最小值平整度测量两种测量方式,局部平整度测量4种方式,电阻率测量范围为中心至边缘(尺寸不同,距离边缘距离有差别)。 2100433B

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硅片表面平整度测量仪技术指标

厚度范围400-990μm精确度≤±0.5μmRES低阻测量范围是0.001~0.999Ω·cm;高阻测量范围是0.2~199.9Ω·cm精确度≤±2%平整度精确度≤±0.15μm型号准确无误。

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碳化硅单晶片平整度测试方法编制进程

2015年12月10日,《碳化硅单晶片平整度测试方法》发布。

2017年1月1日,《碳化硅单晶片平整度测试方法》实施。

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