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极限真空度≤1x10-5 Pa ;6个电子束蒸发工位,2个舟型热蒸发工位;衬底采用红外加热,最高温度≥150C;支持样品尺寸:最大支持6英寸晶圆,可一次装载5片6英寸样品; 6英寸基片片内和同批次片间膜厚均匀性优于±5%。
具备电子束蒸发和电阻加热热蒸发两种蒸发模式,具有原位离子束清洗功能、衬底加热等功能,用于金属(Ti、Au、Ag、Al、Mo)和非金属(SiO)薄膜生长。 2100433B
科创复合风管技术指标7.4
科创复合风管技术指标 1. MFK1 纤维增强镁质复合风管 (暖通型) 强度结构层材料为镁质材料,其燃烧性能为 A1 级,厚度≥ 1.5mm,抗折荷载≥ 1200N,软 化系数≥ 85%,热阻值≥ 0.85㎡· k/w,导热系数≤ 0.030w/m·k。保温层材料采用热固型聚 苯乙烯,其燃烧性能≥ A2级。板材总厚度为 31mm,密度≤8kg/㎡,无铝箔或单面铝箔,采 用层插式连接或 PVC 法兰快插连接,绝不返卤。 2. MFK2 纤维增强镁质复合风管(通风型) 强度结构层材料为镁质材料,其燃烧性能为 A1 级,厚度≥ 1mm,抗折荷载≥ 1200N,软化 系数≥ 85%,热阻值≥ 0.81 ㎡· k/w,导热系数≤ 0.030w/m·k。保温层材料采用热固型聚苯 乙烯,其燃烧性能≥ B1级。板材总厚度为 25mm,密度≤ 8kg/㎡,无铝箔或单面铝箔,绝不 返卤。 3. MFK3 纤维
腔室本底真空优于5x10-8torr;4 个7cc的蒸发坩埚;2个热蒸发电极。
(1)一级蒸发冷却系统
我国有一些地区夏季空调室外计算干、湿球温度不高,用直接蒸发对室外空气进行冷却,冷却后的状态可以达到一般舒适性空调的送风要求。
(2)两级蒸发冷却系统
室外空气先经间接冷却处理后在进行直接蒸发冷却,以获得温度和含湿量均低的送风状态。
(3)三级蒸发冷却系统
第一级间接蒸发冷却——室外空气用冷却塔的冷水通过空气冷却器来冷却。第二级为间接蒸发冷却。第三级为直接蒸发冷却。
(1)冷却新风
(2)制取空调冷水
对燃油蒸发控制系统的故障、一般不能自行诊断,只能采用就车检测和单件检测方法来查找 。
就车检测可按下述顺序进行:
(1)将发动机预热至正常工作温度,并使之怠速运转。
(2)拔下蒸气回收罐上的真空软管 ,检查软管内有无真空吸力。 若燃油蒸发控制系统工作正常,在发动机怠速运转中电磁阀应关闭,真空软管内无真空吸力。 如果此时真空软管内有真空吸力,则用万用表 挡检查电磁阀线束连接器端子上是否有电压。若电磁阀线束连接器端子上有电压,说明微机有故障。若无电压,则说明电磁阀有故障卡死在开启位置。
(3)踩下加速踏板,当发动机转速大于3000r/min 时,检查上述真空软管内有无真空吸力. 若真空软管内有 真空吸力,则说明该系统工作正常;若真空软管内无真空吸力,则用万用表 Ω挡检查电磁阀线束连接器端子上是否有电压。若电压正常,说明电磁阀有故障;若电压异常,则说明微机或控制线路有故障。
(1)检查电磁阀电磁线圈的电阻值. 拔下电磁阀线束连接器,用万用表 Ω 挡测量电磁阀电磁线圈的电阻
值。 电阻值应符合规定,否则应更换电磁阀。
(2)检查电磁阀的工作. 拆下电磁阀,首先向电磁阀内吹气,电磁阀应不通气&然后将蓄电池电压加到电磁
阀连接器的两端子上,并同时向电磁阀内吹气,此时电磁圈子应通气。 如电磁阀的状态与上述情况不符,则电磁阀有故障,应更换。