具备电子束蒸发和电阻加热热蒸发两种蒸发模式，具有原位离子束清洗功能、衬底加热等功能，用于金属（Ti、Au、Ag、Al、Mo）和非金属（SiO）薄膜生长。 2100433B

极限真空度≤1x10-5 Pa ;6个电子束蒸发工位，2个舟型热蒸发工位；衬底采用红外加热，最高温度≥150C；支持样品尺寸：最大支持6英寸晶圆，可一次装载5片6英寸样品； 6英寸基片片内和同批次片间膜厚均匀性优于±5%。

腔室本底真空优于5x10-8torr；4 个7cc的蒸发坩埚；2个热蒸发电极。

蒸发冷却全空气蒸发冷却空调系统

（1）一级蒸发冷却系统

我国有一些地区夏季空调室外计算干、湿球温度不高，用直接蒸发对室外空气进行冷却，冷却后的状态可以达到一般舒适性空调的送风要求。

（2）两级蒸发冷却系统

室外空气先经间接冷却处理后在进行直接蒸发冷却，以获得温度和含湿量均低的送风状态。

（3）三级蒸发冷却系统

第一级间接蒸发冷却——室外空气用冷却塔的冷水通过空气冷却器来冷却。第二级为间接蒸发冷却。第三级为直接蒸发冷却。

蒸发冷却空气-水系统中蒸发冷却的应用

（1）冷却新风

（2）制取空调冷水

对燃油蒸发控制系统的故障、一般不能自行诊断，只能采用就车检测和单件检测方法来查找 。

燃油蒸发控制就车检测

就车检测可按下述顺序进行：

（1）将发动机预热至正常工作温度，并使之怠速运转。

（2）拔下蒸气回收罐上的真空软管 ，检查软管内有无真空吸力。 若燃油蒸发控制系统工作正常，在发动机怠速运转中电磁阀应关闭，真空软管内无真空吸力。 如果此时真空软管内有真空吸力，则用万用表 挡检查电磁阀线束连接器端子上是否有电压。若电磁阀线束连接器端子上有电压，说明微机有故障。若无电压，则说明电磁阀有故障卡死在开启位置。

（3）踩下加速踏板，当发动机转速大于3000r/min 时,检查上述真空软管内有无真空吸力. 若真空软管内有 真空吸力,则说明该系统工作正常;若真空软管内无真空吸力,则用万用表 Ω挡检查电磁阀线束连接器端子上是否有电压。若电压正常，说明电磁阀有故障；若电压异常，则说明微机或控制线路有故障。

燃油蒸发控制电磁阀的单件检测

（1）检查电磁阀电磁线圈的电阻值. 拔下电磁阀线束连接器，用万用表 Ω 挡测量电磁阀电磁线圈的电阻

值。 电阻值应符合规定，否则应更换电磁阀。

（2）检查电磁阀的工作. 拆下电磁阀，首先向电磁阀内吹气，电磁阀应不通气&然后将蓄电池电压加到电磁

阀连接器的两端子上，并同时向电磁阀内吹气，此时电磁圈子应通气。 如电磁阀的状态与上述情况不符，则电磁阀有故障，应更换。