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1、金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究;2、基片的刻蚀和灰化;3、作为高密度、宽束离子源;4、低温氧化物的生长;5、等离子体表面处理和其它实验加工。
1、微波工作频率:2450±50MHZ,微波输出功率:0.5-5KW连续可调;功率稳定度:优于±1%;2、输出波导接口:BJ-26带FD-26标准法兰;3、微波反应腔尺寸和工作模式:ф124×200(H),下注TM013模式;4、微波放电腔:多端口,带双层水冷;5、真空系统:600L/min分子泵和旁路机组中气压真空测控;6、样品支架系统:基板直径ф100mm;7、轴向调节距离:0-150mm。
等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同,它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构,从而具有良好的均匀性及对基质的附着性[1,2].有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多[3,4],本室已...
等离子体又叫做“电浆”,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质 在人工生成等离子体的方法中,气体放电法比加热的办法更加简便高效,如荧光灯、霓虹灯、电弧焊、电晕放电...
低温等离子体:适合的应用材料的表面清洗活化焊接,油漆,打印,密封,起泡,涂覆及硅化前表面活化处理。气体裂解和高效灭菌加速化学反应产品特点:突破低气压限制,可在大气压下引发等离子体;可对材料连续在线处理...
等离子体电子工程(22)-电晕放电与高压低温等离子体
等离子体电子工程(22)-电晕放电与高压低温等离子体
电容耦合微波等离子体(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波为辐射频率, ( torch ) E-大于〕1f1MI-}z(一般为24}n:'v1H} )微 功率在数百瓦到数千瓦的一种电容藕合等离 子体光源。由磁控管产生微波,通过同轴波导管传输到一根 同轴电极上,在电极尖端生成等离子体(焰炬)。它可在大气 压下放电点燃二试样雾化后随载气进人等离子体激发发光。
采用HT-CVD 技术生产的硬质涂层材料主要有:TiC、TiN、TiCN、Cr7C3、TiBN、Al2O3 等单涂层和它们的复合涂层材料。高温化学气相沉积工艺过程包括工件沉积前处理(工件清洗、强化处理等)、装炉、检漏、加热升温、沉积、冷却、检查和包装等。
在整个沉积工艺过程中,要严格控制各加热温度和各种气体流量。特别对CH4,TiCl4等反应气体通人时间和流量,更需按工艺要求控制到位,否则对涂层质量会有很大影响。
沉积工艺举例如下
TiC 涂层
沉积温度:1000~1050℃
沉积室压力: (1~2)×104Pa
沉积时间:60~ 180min
各反应气体流量: 主H2 7000~ 12000SCCM;CH4 4000-~8000SCCM (SCCM 即cm3/min);TiCl: 加热温度45~65℃;载气H2 4000~6000SCCM
TiN 涂层
沉积温度: 950~1000℃
沉积室压力: (1~2)X104Pa
沉积时间:60~ 180min
各反应气体流量:主H2 8000~13000SCCM;N2 6000~ 10000SCCM;TiCl ;加热温度45~65℃;载气H2 5000 9000SCCM2100433B
地面微波通信系统由视野范围内的两个互相对准方向的抛物面天线组成,能够实现视野范围内的微波通信。
地面微波通信系统主要作为计算机网络的中继链路,实现两个或多个局域网的互连,扩大网络的覆盖范围。例如,两个相距较远大楼中的局域网可以采用地面微波通信系统互相连通,实现数据通信。在某些情况下,这种远程连接方式可能比有线远程连接的费用要低廉一些。