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微波等离子体CVD系统技术指标

微波等离子体CVD系统技术指标

1、微波工作频率：2450±50MHZ，微波输出功率：0.5-5KW连续可调；功率稳定度：优于±1%；2、输出波导接口：BJ-26带FD-26标准法兰；3、微波反应腔尺寸和工作模式：ф124×200(H)，下注TM013模式；4、微波放电腔：多端口,带双层水冷；5、真空系统：600L/min分子泵和旁路机组中气压真空测控；6、样品支架系统：基板直径ф100mm；7、轴向调节距离：0-150mm。

微波等离子体CVD系统造价信息

市场价
信息价
询价

等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-3000 490×760×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-4500 980×566×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-7500 980×945×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-10500 980×1392×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-12000 980×1520×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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一体化应急系统

规格型号：
JG-YYZ36E40W
价格行情：
材料单位：
套
材料税率：
地区时间：
阳江市2005年3月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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一体化应急系统

规格型号：
JG-YYZ30E30W
价格行情：
材料单位：
套
材料税率：
地区时间：
阳江市2005年2月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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一体化应急系统

规格型号：
JG-YYZ36E40W
价格行情：
材料单位：
套
材料税率：
地区时间：
阳江市2004年12月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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一体化应急系统

规格型号：
JG-YYZ18E20W
价格行情：
材料单位：
套
材料税率：
地区时间：
阳江市2004年12月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

一体化应急系统

规格型号：
JG-YYZ18E20W
价格行情：
材料单位：
套
材料税率：
地区时间：
阳江市2004年11月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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经济技术指标

规格型号：
40层
需求量：
04.2m层高
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
费用说明：
不含税费 | 不含运费
询价时间：
2009-05-12

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等离子体净化装置

规格型号：
1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h
需求量：
3台
报价数：
3
材料品牌：
材料档次：
中高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2021-09-29

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等离子体净化装置

规格型号：
1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h
需求量：
3台
报价数：
3
材料品牌：
材料档次：
中高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2021-10-15

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电感耦合等离子体质谱仪

规格型号：
参数配置详见附件
需求量：
1台
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2020-09-21

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等离子体空气净化消毒机

规格型号：
等离子体空气净化消毒机1.型式:等离子体空气净化消毒机2.规格:体积≤60m3
需求量：
20只
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
不含税费 | 含运费
询价时间：
2022-07-04

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微波等离子体CVD系统主要功能

1、金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究；2、基片的刻蚀和灰化；3、作为高密度、宽束离子源；4、低温氧化物的生长；5、等离子体表面处理和其它实验加工。

微波等离子体CVD系统技术指标常见问题

低温等离子体的技术开发

国内外企业利用低温等离子体技术在环保方面开发出了“低温等离子体有机废气净化设备”、“低温等离子体废水净化设备”及“低温等离子体汽车尾气净化技术”。1、低温等离子体在保鲜、杀菌、除臭等方面产品开发，目前...
低温等离子体技术是什么？

低温等离子体物理与技术经历了一个由60年代初的空间等离子体研究向80年代和90年代以材料为导向研究领域的大转变，高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等，为低温等离子体科学发展带来了新的机遇和...
什么是等离子体膜

等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同，它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构，从而具有良好的均匀性及对基质的附着性［1，2］．有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多［3，4］，本室已...

微波等离子体CVD系统技术指标文献

等离子体电子工程(22)-电晕放电与高压低温等离子体

等离子体电子工程(22)-电晕放电与高压低温等离子体

等离子体电子工程(22)-电晕放电与高压低温等离子体

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大小：1.3MB

页数： 5页

等离子体电子工程(22)-电晕放电与高压低温等离子体

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高分子等离子体涂料

高分子等离子体涂料

高分子等离子体涂料

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大小：1.3MB

页数： 1页

本发明和一种在天然和／或合成有机材料表面用做防火和／或耐火层的等离子高分子涂料有关。把表面暴露在一种蒸气的等离子中得到这种涂料，特别地，单体含有卤素和／或磷和／或氮和／或硅，比如含氟组分，含磷组分，含硅组分，含氮组分。这种涂层可被应用于在公共场合如飞机，电影院，汽车，火车，餐馆等使用的窗户，织物，地毯等。通过把表面暴露在等离子体中得到涂层。暴露时间从30秒到5小时，压力从10到1200mtorr。

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电容耦合微波等离子体概述

电容耦合微波等离子体(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波为辐射频率， ( torch ) E-大于〕1f1MI-}z(一般为24}n:'v1H} )微功率在数百瓦到数千瓦的一种电容藕合等离子体光源。由磁控管产生微波，通过同轴波导管传输到一根同轴电极上，在电极尖端生成等离子体(焰炬)。它可在大气压下放电点燃二试样雾化后随载气进人等离子体激发发光。

HT-CVD简介

采用HT-CVD 技术生产的硬质涂层材料主要有:TiC、TiN、TiCN、Cr₇C₃、TiBN、Al₂O₃等单涂层和它们的复合涂层材料。高温化学气相沉积工艺过程包括工件沉积前处理(工件清洗、强化处理等)、装炉、检漏、加热升温、沉积、冷却、检查和包装等。 在整个沉积工艺过程中，要严格控制各加热温度和各种气体流量。特别对CH₄，TiCl₄等反应气体通人时间和流量，更需按工艺要求控制到位，否则对涂层质量会有很大影响。 沉积工艺举例如下 TiC 涂层 沉积温度:1000~1050℃ 沉积室压力: (1~2)×10⁴Pa 沉积时间:60~ 180min 各反应气体流量: 主H₂ 7000~ 12000SCCM；CH₄ 4000-~8000SCCM (SCCM 即cm³/min)；TiCl: 加热温度45~65℃；载气H₂ 4000~6000SCCM TiN 涂层 沉积温度: 950~1000℃ 沉积室压力: (1~2)X10⁴Pa 沉积时间:60~ 180min 各反应气体流量:主H₂ 8000~13000SCCM；N₂ 6000~ 10000SCCM；TiCl ;加热温度45~65℃；载气H2 5000 9000SCCM2100433B

地面微波通信系统简介

地面微波通信系统由视野范围内的两个互相对准方向的抛物面天线组成，能够实现视野范围内的微波通信。 地面微波通信系统主要作为计算机网络的中继链路，实现两个或多个局域网的互连，扩大网络的覆盖范围。例如，两个相距较远大楼中的局域网可以采用地面微波通信系统互相连通，实现数据通信。在某些情况下，这种远程连接方式可能比有线远程连接的费用要低廉一些。

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